[实用新型]PECVD载板转换装置有效
| 申请号: | 201320576191.7 | 申请日: | 2013-09-17 |
| 公开(公告)号: | CN203451616U | 公开(公告)日: | 2014-02-26 |
| 发明(设计)人: | 尤耀明;龚建新 | 申请(专利权)人: | 无锡绿波新能源设备有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
| 代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
| 地址: | 214092 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | pecvd 转换 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种转换装置,具体的说是一种PECVD载板转换装置,属于太阳能镀膜技术领域。
背景技术
C/C复合材料是一种新型高性能结构、功能复合材料,具有高强度、高模量、高断裂韧性、高导热、隔热优异和低密度等优异特性,在机械、电子、化工、冶金和核能等领域中得到广泛应用,并且在航天、航空和国防领域中的关键部件上大量应用。
C/C复合载板是应用C/C复合材料的载板,是板式PECVD中承载电池片中的重要工艺装备。载板在设备上循环运动,一种尺寸规格的载板对应一种PECVD设备,但是不同设备厂商制造的设备所配的载板尺寸又不统一;目前各厂使用的载板尺寸宽都是1米,长度有1米、1.02米.1.05米.1.86米等多种;长度不同的载板不能在PECVD设备上通用. 而生产厂家都有二种戓二种以上尺寸的载板,刚开始毎台设备都配备相应的载板,经过一段时期后各种尺寸的载板损耗不同另外设备也要维护保养及检修;这样就导致设备和载板出现不匹配,若要保证不影向正常生产就只能增加载板数量;C/C载板由于材料价格大,故多配载板数量就会增加投入并提高成本及维护费用。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足之处,从而提供一种PECVD载板转换装置,能使长度1.86米以下的载板通过该装置转换能在使用1.86米载板的设备上通用,减少了载板的总配备量,从而降低了生产成本。
按照本实用新型提供的技术方案,PECVD载板转换装置包括两个互相平行的上导轨,其特征是:两个上导轨上端通过螺钉共同连接上连接板,两个上导轨下端通过螺钉共同连接下连接板。上导轨上表面两端通过螺钉分别连接上限位导轨和下限位导轨,上导轨下表面通过螺钉连接下导轨。
进一步的,上限位导轨一端连接上连接板。
进一步的,下限位导轨一端连接下连接板。
进一步的,上限位导轨和下限位导轨之间的距离大于等于1.86米。
进一步的,上导轨和下导轨长度相同。
进一步的,上导轨采用钛合金材料制作。
进一步的,上连接板、下连接板、下导轨、上限位导轨和下限位导轨采用C/C复合材料制作。
本实用新型与已有技术相比具有以下优点:
本实用新型结构简单、紧凑、合理,采用钛合金导轨,提高了强度,提高了使用寿命;减少了载板的总配备量,降低了生产成本;使用方便,维护简单。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型使用状态图。
附图标记说明:1-上连接板、2-下连接板、3-上导轨、4-下导轨、5-上限位导轨、6-下限位导轨。
具体实施方式
下面本实用新型将结合附图中的实施例作进一步描述:
如图1所示,本实用新型主要包括两个互相平行的上导轨3,两个上导轨3上端通过螺钉共同连接上连接板1,两个上导轨3下端通过螺钉共同连接下连接板2。
上导轨3上表面两端通过螺钉分别连接上限位导轨5和下限位导轨6,上限位导轨5一端连接上连接板1,下限位导轨6一端连接下连接板2。所述上限位导轨5和下限位导轨6之间的距离为1.86米。上限位导轨5和下限位导轨6之间的上导轨3部分用于连接各种不同长度尺寸的C/C复合载板。
上导轨3下表面通过螺钉连接下导轨4,上导轨3和下导轨4长度相同。
所述上导轨3采用钛合金材料制作,上连接板1、下连接板2、下导轨4、上限位导轨5和下限位导轨6采用C/C复合材料制作。
本实用新型在使用时,如图2所示,将不同规格尺寸的C/C复合载板的C/C复合导轨拆下,然后固定在上限位导轨5和下限位导轨6之间的上导轨3上即可。本实用新型采用钛合金导轨,提高了强度,提高了使用寿命;减少了载板的总配备量,降低了生产成本;使用方便,维护简单。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





