[实用新型]PECVD载板转换装置有效
| 申请号： | 201320576191.7 | 申请日： | 2013-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN203451616U | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 尤耀明;龚建新 | 申请（专利权）人： | 无锡绿波新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214092 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | pecvd 转换 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种PECVD载板转换装置，包括两个互相平行的上导轨（3），其特征是：两个上导轨（3）上端通过螺钉共同连接上连接板（1），两个上导轨（3）下端通过螺钉共同连接下连接板（2）；上导轨（3）上表面两端通过螺钉分别连接上限位导轨（5）和下限位导轨（6），上导轨（3）下表面通过螺钉连接下导轨（4）。
2.如权利要求1所述的PECVD载板转换装置，其特征是：所述上限位导轨（5）一端连接上连接板（1）。
3.如权利要求1所述的PECVD载板转换装置，其特征是：所述下限位导轨（6）一端连接下连接板（2）。
4.如权利要求1所述的PECVD载板转换装置，其特征是：所述上限位导轨（5）和下限位导轨（6）之间的距离大于等于1.86米。
5.如权利要求1所述的PECVD载板转换装置，其特征是：所述上导轨（3）和下导轨（4）长度相同。
6.如权利要求1所述的PECVD载板转换装置，其特征是：所述上导轨（3）采用钛合金材料制作。
7.如权利要求1所述的PECVD载板转换装置，其特征是：所述上连接板（1）、下连接板（2）、下导轨（4）、上限位导轨（5）和下限位导轨（6）采用C/C复合材料制作。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
