[实用新型]一种新型PECVD射频电极接头

摘要

本实用新型涉及一种新型PECVD射频电极接头，包括电极插口和电极接口，所述电极插口包括金属外壳Ⅰ、金属内壳、夹装于金属外壳Ⅰ与金属内壳之间的绝缘填充层Ⅰ、设置于金属内壳中的圆孔Ⅰ、水平设置于圆孔Ⅰ内的两个圆棒Ⅰ，电极接口包括金属外壳Ⅱ、设置于金属外壳Ⅱ内的圆棒Ⅱ、设置于圆棒Ⅱ上的与两个圆棒Ⅰ位置相对应的圆孔Ⅱ以及设置于外壳Ⅱ与圆棒Ⅱ之间的绝缘填充层Ⅱ，电极插口与电极插口上设置有当电机插口插入电极接口后锁止固定的固定装置。电极插口圆棒Ⅰ插进电极接口内圆棒Ⅱ中的圆孔Ⅱ里，其位置是固定的，可以有效的保证电极插口和电极接口的良好接触，同时避免了震动，插不到位等因素导致接触不良，并增加接触面积增强导电性。

主权项

一种新型PECVD射频电极接头，包括电极插口和电极接口，其特征在于：所述电极插口包括金属外壳Ⅰ（2）、金属内壳（4）、夹装于金属外壳Ⅰ（2）与金属内壳（4）之间的绝缘填充层Ⅰ（3）、设置于金属内壳（4）中的圆孔Ⅰ（5）、水平设置于圆孔Ⅰ（5）内的两个圆棒Ⅰ（6），所述电极接口包括金属外壳Ⅱ（8）、设置于金属外壳Ⅱ（8）内的圆棒Ⅱ（10）、设置于圆棒Ⅱ（10）上的与两个圆棒Ⅰ（6）位置相对应的圆孔Ⅱ（11）以及设置于外壳Ⅱ（8）与圆棒Ⅱ（10）之间且位于圆棒Ⅱ（10）后端的绝缘填充层Ⅱ（9），所述外壳Ⅱ（8）内且位于绝缘填充层Ⅱ（9）前端形成一圆孔Ⅲ（12），所述圆棒Ⅱ（10）的外径与圆孔Ⅰ（5）的内孔尺寸相匹配，所述圆棒Ⅰ（6）的外径与圆孔Ⅱ（11）的内孔尺寸相匹配，所述外壳Ⅰ（2）的外径及长度分别与圆孔Ⅲ（12）的内径及长度相匹配，所述电极插口与电极插口上设置有当电机插口插入电极接口后锁止固定的固定装置。