[实用新型]一种新型PECVD射频电极接头

说明书

技术领域

本实用新型涉及电极插接头技术领域，具体涉及一种PECVD射频电极接头。   

背景技术

平行板电容式PECVD 在制备薄膜过程中，射频电源经匹配器后通过同轴电缆与平行板连接产生射频电压加在平行板之间从而产生等离子体，同轴电缆与平行板连接时需要射频电极接头连接，此接头要求与同轴电缆和平行板良好，已减少功率反射影响镀膜。现有的电极接头工作时先将电极插口插入电极接口，两者通过金属压杆挤压金属块使电极插口的金属外壳与电极接口的金属壳良好接触，同时电极接口的金属棒与电极插口的金属内壳良好接触。但是这种连接方式在实际中由于电极压杆磨损，压块变形断裂以及电极插口未完全插入电极接口导致接触不良产生反射影响镀膜。

发明内容

本实用新型为了克服以上技术的不足，提供了一种接触性能好、接触面积大、导电性增强的新型PECVD射频电极接头。

本实用新型克服其技术问题所采用的技术方案是：

本新型PECVD射频电极接头，包括电极插口和电极接口，所述电极插口包括金属外壳Ⅰ、金属内壳、夹装于金属外壳Ⅰ与金属内壳之间的绝缘填充层Ⅰ、设置于金属内壳中的圆孔Ⅰ、水平设置于圆孔Ⅰ内的两个圆棒Ⅰ，所述电极接口包括金属外壳Ⅱ、设置于金属外壳Ⅱ内的圆棒Ⅱ、设置于圆棒Ⅱ上的与两个圆棒Ⅰ位置相对应的圆孔Ⅱ以及设置于外壳Ⅱ与圆棒Ⅱ之间且位于圆棒Ⅱ后端的绝缘填充层Ⅱ，所述外壳Ⅱ内且位于绝缘填充层Ⅱ前端形成一圆孔Ⅲ，所述圆棒Ⅱ的外径与圆孔Ⅰ的内孔尺寸相匹配，所述圆棒Ⅰ的外径与圆孔Ⅱ的内孔尺寸相匹配，所述外壳Ⅰ的外径及长度分别与圆孔Ⅲ的内径及长度相匹配，所述电极插口与电极插口上设置有当电机插口插入电极接口后锁止固定的固定装置。

上述固定装置包括竖直活动安装于于电极接口一端的插销、设置于电极插口上的卡槽，所述卡槽的尺寸与插销的外形尺寸相匹配，当电极插口完全插入到电极接口中卡槽位于插销的正下方。

本实用新型的有益效果是：改变电极的接触方式，不再采用压杆的方式，这样使电极没有受那么大的压力因为达到保护电极的目的。不再使用垫片，可以减少因为压力使电极变形失效。减少电极损坏的频次，而且不再频繁的更换压杆。电极插口圆棒Ⅰ插进电极接口内圆棒Ⅱ中的圆孔Ⅱ里，其位置是固定的，可以有效的保证电极插口和电极接口的良好接触，同时避免了震动，插不到位等因素导致接触不良，并增加接触面积增强导电性。

附图说明

图1为本实用新型的电极插口主视剖面结构示意图；

图2为本实用新型的电极插口右视结构示意图；

图3为本实用新型的电极接口左视结构示意图；

图4为本实用新型的电极接口右视剖面结构示意图；

图中，1.卡槽 2.金属外壳Ⅰ 3.绝缘填充层Ⅰ 4.金属内壳 5.圆孔Ⅰ 6.圆棒Ⅰ 7.插销 8.金属外壳Ⅱ 9.绝缘填充层Ⅱ 10.圆棒Ⅱ 11.圆孔Ⅱ 12.圆孔Ⅲ。

具体实施方式

下面结合附图1、附图2、附图3、附图4对本实用新型做进一步说明。

本新型PECVD射频电极接头，包括电极插口和电极接口，电极插口包括金属外壳Ⅰ 2、金属内壳4、夹装于金属外壳Ⅰ 2与金属内壳4之间的绝缘填充层Ⅰ 3、设置于金属内壳4中的圆孔Ⅰ 5、水平设置于圆孔Ⅰ 5内的两个圆棒Ⅰ 6，所述电极接口包括金属外壳Ⅱ 8、设置于金属外壳Ⅱ 8内的圆棒Ⅱ 10、设置于圆棒Ⅱ 10上的与两个圆棒Ⅰ 6位置相对应的圆孔Ⅱ 11以及设置于外壳Ⅱ 8与圆棒Ⅱ 10之间且位于圆棒Ⅱ 10后端的绝缘填充层Ⅱ 9，外壳Ⅱ 8内且位于绝缘填充层Ⅱ 9前端形成一圆孔Ⅲ 12，所述圆棒Ⅱ 10的外径与圆孔Ⅰ 5的内孔尺寸相匹配，圆棒Ⅰ 6的外径与圆孔Ⅱ 11的内孔尺寸相匹配，外壳Ⅰ 2的外径及长度分别与圆孔Ⅲ 12的内径及长度相匹配，电极插口与电极插口上设置有当电机插口插入电极接口后锁止固定的固定装置。将电极插口插入到电极接口中，电极插口中的两个圆棒Ⅰ 6插入到电极接口中的两个圆孔Ⅱ 11中，电极接口的圆棒Ⅱ 10插入到电极插口的圆孔Ⅰ 5中，插到位后电极插口的外壳Ⅰ 2位于电极接口的圆孔Ⅲ 12中，之后由固定装置将电极插口和电极接口固定。改变电极的接触方式，不再采用压杆的方式，这样使电极没有受那么大的压力因为达到保护电极的目的。不再使用垫片，可以减少因为压力使电极变形失效。减少电极损坏的频次，而且不再频繁的更换压杆。电极插口圆棒Ⅰ 6插进电极接口内圆棒Ⅱ 10中的圆孔Ⅱ 11里，其位置是固定的，可以有效的保证电极插口和电极接口的良好接触，同时避免了震动，插不到位等因素导致接触不良，并增加接触面积增强导电性。 

上述固定装置包括竖直活动安装于于电极接口一端的插销7、设置于电极插口上的卡槽1，所述卡槽1的尺寸与插销7的外形尺寸相匹配，当电极插口完全插入到电极接口中时，此时卡槽1位于插销7的正下方，插销7在重力的作用下会下落插入到卡槽1中实现锁定，因此只要插件到位即可固定，避免出现插接不到位的情况发生。