[实用新型]一种新型PECVD射频电极接头

权利要求书

1.一种新型PECVD射频电极接头，包括电极插口和电极接口，其特征在于：所述电极插口包括金属外壳Ⅰ（2）、金属内壳（4）、夹装于金属外壳Ⅰ（2）与金属内壳（4）之间的绝缘填充层Ⅰ（3）、设置于金属内壳（4）中的圆孔Ⅰ（5）、水平设置于圆孔Ⅰ（5）内的两个圆棒Ⅰ（6），所述电极接口包括金属外壳Ⅱ（8）、设置于金属外壳Ⅱ（8）内的圆棒Ⅱ（10）、设置于圆棒Ⅱ（10）上的与两个圆棒Ⅰ（6）位置相对应的圆孔Ⅱ（11）以及设置于外壳Ⅱ（8）与圆棒Ⅱ（10）之间且位于圆棒Ⅱ（10）后端的绝缘填充层Ⅱ（9），所述外壳Ⅱ（8）内且位于绝缘填充层Ⅱ（9）前端形成一圆孔Ⅲ（12），所述圆棒Ⅱ（10）的外径与圆孔Ⅰ（5）的内孔尺寸相匹配，所述圆棒Ⅰ（6）的外径与圆孔Ⅱ（11）的内孔尺寸相匹配，所述外壳Ⅰ（2）的外径及长度分别与圆孔Ⅲ（12）的内径及长度相匹配，所述电极插口与电极插口上设置有当电机插口插入电极接口后锁止固定的固定装置。

2.根据权利要求1所述的新型PECVD射频电极接头，其特征在于：所述固定装置包括竖直活动安装于于电极接口一端的插销（7）、设置于电极插口上的卡槽（1），所述卡槽（1）的尺寸与插销（7）的外形尺寸相匹配，当电极插口完全插入到电极接口中卡槽（1）位于插销（7）的正下方。