[实用新型]过滤器以及酸洗设备有效
| 申请号： | 201320510138.7 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN203425585U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 杨勇;杜亮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/33 | 分类号： | B01D29/33;B01D35/143;B01D35/02;C23F1/46 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种过滤器以及酸洗设备。所述过滤器包括：壳体，位于所述壳体中的滤网；其中，所述壳体包括侧壁，所述侧壁由内至外包括内壁、感压膜及外壁，所述感压膜侦测所述过滤器内的压强并传递信号至外界，从而间接反映处滤网的质量，能够及时发现异常，降低乃至避免损失。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器 以及 酸洗 设备 | ||
【主权项】：
一种过滤器，用于半导体湿法清洗中对酸液进行过滤，其特征在于，包括：壳体以及位于所述壳体中的滤网；其中，所述壳体包括侧壁，所述侧壁由内至外包括内壁、感压膜及外壁，所述感压膜侦测所述过滤器内的压强并传递信号至外界。
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