[实用新型]颗粒验测装置及颗粒验测系统有效
申请号: | 201320475981.6 | 申请日: | 2013-08-05 |
公开(公告)号: | CN203479667U | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | 王祺;潘军花 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01N15/00 | 分类号: | G01N15/00;B01D46/00 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 竺路玲 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 实用新型公开了一种颗粒验测装置及一种颗粒验测系统,颗粒验测装置包括底座、采样管、采样头和过滤器,其中,采样管的底端与底座固定连接,采样管的顶端与采样头固定连接,过滤器通过密封环与采样头的上端密封连接,从而在工艺需求进行颗粒验测时,能够方便快捷的确定橡胶管路的状态,且该过滤器和密封环的成本较低,进而在保证了产品良率的同时,又降低了器件的生产成本。 | ||
搜索关键词: | 颗粒 装置 系统 | ||
【主权项】:
一种颗粒验测装置,包括底座、采样管和采样头,所述采样管的底端与所述底座固定连接,所述采样头与采样管的顶端固定连接,其特征在于,所述颗粒验测装置还包括:过滤器和密封环;所述过滤器通过所述密封环与所述采样头顶端密封连接。
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