[实用新型]颗粒验测装置及颗粒验测系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体测试技术领域，尤其涉及一种颗粒验测装置及一种颗粒验测系统。

背景技术

众所周知，半导体无尘室内的洁净度对产品的良率有着至关重要的影响，因此实时监测半导体无尘室内的洁净度对保证器件的良好性能是必不可少的技术手段。

图1是现有技术中的颗粒在线监测系统的结构示意图；如图所示，目前业界所使用的颗粒在线监测系统包括：颗粒测试仪103、采样管切换盘102和采样管101，该颗粒在线监测系统还包括：连接采样管切换盘和采样管的橡胶管路104以及连接采样管切换盘和颗粒测试仪的橡胶管路105；这些橡胶管路104和105通常布于洁净室地板的下方，长度达到数十米。

上述橡胶管路外层没有额外的保护层，时间一长，由于空气中存在着氧气，橡胶管道中便存在大量氧气，氧在橡胶管道中与橡胶分子发生游离基链锁反应，分子链发生断裂或过度交联，引起橡胶性能的改变，同时，由于洁净室地板下方的空间通常不透气，存储有大量的半导体设备的电源和供气管路等，热量较大，从而进一步的加快了橡胶氧化速度，进而导致橡胶管路极易老化，而老化的橡胶管路容易破损，这会导致颗粒监测数据的不准确。

现有技术中，针对颗粒监测数据出现异常的情况，通常使用移动式颗粒测试仪进行验测，若移动式颗粒测试仪验测区域颗粒正常，则可判断该监测点下方的橡胶管路已出现破损，但是当移动式颗粒测试仪验测该区域的颗粒不正常时，由于可能存在橡胶管路破损造成一定程度的影响，所说义不能断定该监测点下方的橡胶管路肯定完好，且移动式颗粒测试仪的成本较大，从而既难以断定橡胶管路是否完好，又增加了半导体器件的生产成本。

实用新型内容

针对上述存在的问题，本实用新型提供一种颗粒验测装置及一种颗粒验测系统，以克服现有技术中不能断定橡胶管路是否完好，从而增大了生产隐患的问题，也克服现有技术中使用移动式颗粒测试仪，成本较大，导致增加半导体器件的生产成本的问题，从而在能方便快捷的确定橡胶管路的状态的同时，又降低了使用成本，进而在保证了产品良率的同时，又降低了器件的生产成本。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种颗粒验测装置，包括底座、采样管和采样头，所述采样管的底端与所述底座固定连接，所述采样头与采样管的顶端固定连接，其中，所述颗粒验测装置还包括：过滤器和密封环；

所述过滤器通过所述密封环与所述采样头顶端密封连接。

上述的颗粒验测装置，其中，所述过滤器包括过滤壳体和过滤材料；

所述过滤材料置于所述过滤壳体内。

上述的颗粒验测装置，其中，所述过滤壳体为一筒状结构，且所述筒状结构的上下表面均向内形成一折边结构。

上述的颗粒验测装置，其中，由所述折边结构形成的开口处覆盖有一层过滤网。

上述的颗粒验测装置，其中，所述过滤壳体的材质为金属。

上述的颗粒验测装置，其中，所述过滤壳体的材质为合金。

上述的颗粒验测装置，其中，所述过滤材料为高效过滤填充材料。

上述的颗粒验测装置，其中，所述密封环的材质为橡胶。

上述的颗粒验测装置，其中，所述密封环的材质为硅胶。

一种颗粒验测系统，包括颗粒测试仪、采样管切换盘、采样管和两根橡胶管路，且所述采样管包括一采样头，所述颗粒测试仪通过一根所述橡胶管路与所述采样管切换盘贯通连接，所述采样管切换盘通过另一根所述橡胶管路与所述采样管贯通连接，其中，所述颗粒验测系统还包括过滤器和密封环；

所述过滤器通过所述密封环固定设置在所述采样头上，以过滤进入所述采样头中的气体中的颗粒。

上述技术方案具有如下优点或者有益效果：

本实用新型提供的颗粒验测装置及颗粒验测系统，颗粒验测装置包括底座、采样管、采样头和过滤器，其中，采样管的底端与底座固定连接，采样管的顶端与采样头固定连接，过滤器通过密封环与采样头的上端密封连接，从而在工艺需求进行颗粒验测时，能够方便快捷的确定橡胶管路的状态，且该过滤器和密封环的成本较低，进而在保证了产品良率的同时，又降低了器件的生产成本。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。

图1是现有技术中的颗粒在线监测系统的结构示意图；

图2是本实用新型实施例1提供的颗粒验测装置的结构示意图；