[实用新型]颗粒验测装置及颗粒验测系统有效
| 申请号： | 201320475981.6 | 申请日： | 2013-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN203479667U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 王祺;潘军花 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/00 | 分类号： | G01N15/00;B01D46/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 颗粒 装置 系统 | ||
1.一种颗粒验测装置，包括底座、采样管和采样头，所述采样管的底端与所述底座固定连接，所述采样头与采样管的顶端固定连接，其特征在于，所述颗粒验测装置还包括：过滤器和密封环；
所述过滤器通过所述密封环与所述采样头顶端密封连接。
2.如权利要求1所述的颗粒验测装置，其特征在于，所述过滤器包括过滤壳体和过滤材料；
所述过滤材料置于所述过滤壳体内。
3.如权利要求2所述的颗粒验测装置，其特征在于，所述过滤壳体为一筒状结构，且所述筒状结构的上下表面均向内形成一折边结构。
4.如权利要求3所述的颗粒验测装置，其特征在于，由所述折边结构形成的开口处覆盖有一层过滤网。
5.如权利要求2所述的颗粒验测装置，其特征在于，所述过滤壳体的材质为金属。
6.如权利要求2所述的颗粒验测装置，其特征在于，所述过滤壳体的材质为合金。
7.如权利要求2所述的颗粒验测装置，其特征在于，所述过滤材料为高效过滤填充材料。
8.如权利要求1所述的颗粒验测装置，其特征在于，所述密封环的材质为橡胶。
9.如权利要求1所述的颗粒验测装置，其特征在于，所述密封环的材质为硅胶。
10.一种颗粒验测系统，包括颗粒测试仪、采样管切换盘、采样管和两根橡胶管路，且所述采样管包括一采样头，所述颗粒测试仪通过一根所述橡胶管路与所述采样管切换盘贯通连接，所述采样管切换盘通过另一根所述橡胶管路与所述采样管贯通连接，其特征在于，所述颗粒验测系统还包括过滤器和密封环；
所述过滤器通过所述密封环固定设置在所述采样头上，以过滤进入所述采样头中的气体中的颗粒。
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