[实用新型]一种维修检测装置有效
| 申请号: | 201320446405.9 | 申请日: | 2013-07-25 |
| 公开(公告)号: | CN203365844U | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
| 发明(设计)人: | 曹宇;裴晓光;赵海生 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01B11/06 |
| 代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本实用新型实施例提供了一种维修检测装置,涉及显示面板生产技术领域,可在阵列基板维修过程中有效检测维修效果,从而减少不必要的损失;该维修检测装置包括光学设备、反应腔体、以及膜厚测试设备,膜厚测试设备用于测试维修薄膜的厚度。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 维修 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种维修检测装置,包括光学设备以及反应腔体,其特征在于,所述维修检测装置还包括膜厚测试设备,所述膜厚测试设备用于测试维修薄膜的厚度。
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