[实用新型]一种维修检测装置

权利要求书

1.一种维修检测装置，包括光学设备以及反应腔体，其特征在于，所述维修检测装置还包括膜厚测试设备，所述膜厚测试设备用于测试维修薄膜的厚度。 

2.根据权利要求1所述的维修检测装置，其特征在于，所述膜厚测试设备包括红外热成像传感器； 

其中，所述膜厚测试设备用于根据所述红外热成像传感器感测的所述维修薄膜的热辐射得到所述维修薄膜的厚度。 

3.根据权利要求2所述的维修检测装置，其特征在于，所述膜厚测试设备还包括与所述红外热成像传感器连接的数据处理系统； 

其中，所述数据处理系统用于根据所述红外热成像传感器感测的所述维修薄膜的热辐射量，得到与所述维修薄膜的厚度对应的热成像图像。 

4.根据权利要求3所述的维修检测装置，其特征在于，所述数据处理系统包括存储模块，所述存储模块存储有所述热成像图像中不同颜色与膜厚的对应关系表。 

5.根据权利要求4所述的维修检测装置，其特征在于，所述数据处理系统还包括报警模块，所述报警模块用于在所述热成像图像的颜色对应的所述维修薄膜的厚度大于预定值时，发出报警。 

6.根据权利要求1所述的维修检测装置，其特征在于，所述光学设备包括：激光发生器、分布在激光光路上的衰减器、光扩束器、波长选择器、光路狭缝以及至少一个镜头；其中，所述激光发生器发出的激光从所述镜头出射至所述反应腔体。 

7.根据权利要求6所述的维修检测装置，其特征在于，所述维修检测装置还包括镜头支架； 

其中，所述光学设备的所述至少一个镜头设置在所述镜头支架上；所述膜厚测试设备设置在所述镜头支架上。 

8.根据权利要求7所述的维修检测装置，其特征在于，所述维修检测装置还包括用于驱动所述镜头支架沿预定方向运动的马达。 

9.根据权利要求6所述的维修检测设备，其特征在于，所述至少一个镜头包括红外光镜头和紫外光镜头，所述红外光镜头出射红外光激光，所述紫外光镜头出射紫外光激光。 

10.根据权利要求6所述的维修检测装置，其特征在于，所述激光发生器包括发射紫外光的激光发生器和发射红外光的激光发生器。 

11.根据权利要求6所述的维修检测装置，其特征在于，所述光学设备还包括光源；其中，所述光源发出的光线经棱镜到达所述光路狭缝和所述镜头之间的激光光路。