[实用新型]用于检测硅锭倒角面平整度的承载装置有效
申请号: | 201320337917.1 | 申请日: | 2013-06-13 |
公开(公告)号: | CN203287009U | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
发明(设计)人: | 张立鲁 | 申请(专利权)人: | 宇骏(潍坊)新能源科技有限公司 |
主分类号: | G01B21/30 | 分类号: | G01B21/30 |
代理公司: | 潍坊正信专利事务所 37216 | 代理人: | 王秀芝 |
地址: | 261061 山东省潍坊*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及硅锭倒角检测工具技术领域,提供了一种用于检测硅锭倒角面平整度的承载装置,包括检测平台和设置于该检测平台下方的工件放置台,检测平台的中间设有长方形通槽,工件放置台包括底座和可上下滑动地设置于底座内的V型块,V型块的V型槽呈直角。由于其在底座内设置了可升降的V型块,使得其在对硅锭的倒角面进行平整度检测时,仅需将硅锭放置到V型块的V型槽内,然后将V型块升起,使硅锭上处于最上方的倒角面位于检测平台的长方形通槽内并与其上平面持平,然后使用平整度检测仪对该倒角面进行检测即可,解决了凭肉眼判断倒角面平整度的弊端,能有效预防切片后倒角边出现亮边、硅落、凹凸等缺陷。 | ||
搜索关键词: | 用于 检测 倒角 平整 承载 装置 | ||
【主权项】:
一种用于检测硅锭倒角面平整度的承载装置,其特征在于:包括检测平台和设置于所述检测平台下方的工件放置台,所述检测平台的中间设有长方形通槽,所述工件放置台包括底座和由动力装置驱动可上下滑动地设置于所述底座内的V型块,所述V型块对应设置于所述长方形通槽的下方,所述V型块的V型槽呈直角。
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