[实用新型]用于检测硅锭倒角面平整度的承载装置

权利要求书

1.一种用于检测硅锭倒角面平整度的承载装置，其特征在于：包括检测平台和设置于所述检测平台下方的工件放置台，所述检测平台的中间设有长方形通槽，所述工件放置台包括底座和由动力装置驱动可上下滑动地设置于所述底座内的V型块，所述V型块对应设置于所述长方形通槽的下方，所述V型块的V型槽呈直角。 

2.如权利要求1所述的用于检测硅锭倒角面平整度的承载装置，其特征在于：所述动力装置为固定设置于所述底座上的气缸，所述气缸的动力输出端与所述V型块固定设置在一起，所述底座的两侧分别竖向设有边槽，所述V型块的两侧分别竖向设有凸棱，所述凸棱滑动设置于所述边槽内。 

3.如权利要求1或2所述的用于检测硅锭倒角面平整度的承载装置，其特征在于：所述底座的四周固定设有立柱，所述检测平台的下台面与所述立柱相对应的位置设有盲孔，所述立柱的上端位于所述盲孔内。 

4.如权利要求3所述的用于检测硅锭倒角面平整度的承载装置，其特征在于：所述立柱包括设有螺纹的下段和具有磁性的上段，所述立柱通过螺纹连接的方式固定设置在所述底座上，所述立柱的上端通过磁性连接的方式与所述检测平台吸附在一起。