[实用新型]一种硅片片盒及对应的固定托盘有效
| 申请号： | 201320320627.6 | 申请日： | 2013-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN203277344U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 甘随;陈耀军;邓清龙;陈明梁;王诗造 | 申请（专利权）人： | 海南英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 570000 海南省海口市国*** | 国省代码： | 海南;66 |
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| 摘要： | 一种硅片片盒，包括：第一固定面，所述第一固定面设置有至少两个第一固定通孔；与所述第一固定面相对的第二固定面，所述第二固定面设置有至少两个第二固定通孔，所述第二固定通孔的形状和数量与所述第一固定通孔的形状和数量相同；所述硅片片盒的所有第一固定通孔和所有第二固定通孔相对于硅片片盒的外侧具有相同的形状和位置，使所有第一固定通孔和所有第二固定通孔能够匹配同一个固定托盘。因此，在进行硅片装载时，只需要将所有硅片按照相同的方向装载到所述硅片片盒中即可，硅片的装载方向决定硅片片盒的固定面，增加了装置的灵活性，提高了工作人员的工作效率，且避免了倒片，降低了碎片率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 对应 固定 托盘 | ||
【主权项】：
一种硅片片盒，其特征在于，包括：第一固定面，所述第一固定面设置有至少两个第一固定通孔；与所述第一固定面相对的第二固定面，所述第二固定面设置有至少两个第二固定通孔，所述第二固定通孔的形状和数量与所述第一固定通孔的形状和数量相同；其中，所有第一固定通孔在所述第一固定面上沿参考方向视图的形状与所有第二固定通孔在所述第二固定面上沿所述参考方向的反方向视图的形状相同；所有第一固定通孔在所述第一固定面上沿参考方向视图的在所述第一固定面上的位置与所有第二固定通孔在所述第二固定面上沿所述参考方向的反方向视图在所述第二固定面上的位置对应相同。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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