[实用新型]一种硅片片盒及对应的固定托盘

权利要求书

1.一种硅片片盒，其特征在于，包括：

第一固定面，所述第一固定面设置有至少两个第一固定通孔；

与所述第一固定面相对的第二固定面，所述第二固定面设置有至少两个第二固定通孔，所述第二固定通孔的形状和数量与所述第一固定通孔的形状和数量相同；

其中，所有第一固定通孔在所述第一固定面上沿参考方向视图的形状与所有第二固定通孔在所述第二固定面上沿所述参考方向的反方向视图的形状相同；所有第一固定通孔在所述第一固定面上沿参考方向视图的在所述第一固定面上的位置与所有第二固定通孔在所述第二固定面上沿所述参考方向的反方向视图在所述第二固定面上的位置对应相同。

2.根据权利要求1所述的硅片片盒，其特征在于，所述第一固定通孔为3个，且所述第一固定通孔不共线。

3.根据权利要求1所述的硅片片盒，其特征在于，所述第一固定通孔为4个，且所述第一固定通孔不共线。

4.根据权利要求3所述的硅片片盒，其特征在于，所述第一固定通孔为第一固定面的感应孔，所述第二固定通孔为所述第二固定面的感应孔。

5.根据权利要求1所述的硅片片盒，其特征在于，所述第一固定通孔的形状包括：圆形、三角形、矩形以及六边形。

6.一种固定托盘，用于固定权利要求1-5任一项所述的硅片片盒，其特征在于，包括：底座，以及设置在所述底座上表面的固定柱，所述固定柱的位置与所述第一固定通孔的位置一一对应，且所述固定柱高出所述底座部分的形状与所述第一固定通孔的形状匹配。

7.根据权利要求6所述的固定托盘，其特征在于，所述固定柱底部与所述底座螺纹连接或焊接。

8.根据权利要求7所述的固定托盘，其特征在于，所述硅片片盒通过固定柱固定于托盘上后，所述固定柱露出部分的高度范围为2.5mm～3mm。