[实用新型]可调缝宽的狭缝光阑调整装置有效
申请号: | 201320284563.9 | 申请日: | 2013-05-22 |
公开(公告)号: | CN203287600U | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
发明(设计)人: | 赵丽丽 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置,包括:镜筒;与所述镜筒螺纹匹配的可调节镜筒;楔形滑块,轴向固定设置在所述可调节镜筒内;可调狭缝片单元,包括两个对称连接的可调狭缝片,所述可调狭缝片的一端具有导向槽,所述楔形滑块的楔形面与所述导向槽匹配;锁紧单元,与所述镜筒连接。本实用新型提供的可调缝宽的狭缝光阑调整装置,通过旋转可调节镜筒带动与其连接的楔形滑块做轴向运动,在楔形滑块的作用下,可调狭缝片将轴向运动转化为径向运动,从而调节缝宽,结构紧凑,稳定性高;本实用新型的可调缝宽的狭缝光阑调整装置以镜筒轴为旋转中心,在调整过程中可调狭缝片对称向两侧移动,调整到需要的宽度后不需要再对准,操作简单可靠。 | ||
搜索关键词: | 可调 狭缝 光阑 调整 装置 | ||
【主权项】:
一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置,其特征在于,包括:镜筒;与所述镜筒螺纹匹配的可调节镜筒;楔形滑块,轴向固定设置在所述可调节镜筒内;可调狭缝片单元,包括两个对称连接的可调狭缝片,所述可调狭缝片的一端具有导向槽,所述楔形滑块的楔形面与所述导向槽匹配;锁紧单元,与所述镜筒连接。
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