[实用新型]可调缝宽的狭缝光阑调整装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学精密机械设计与加工技术领域，尤其涉及一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置。

背景技术

在半导体生产技术领域中，电镀是IC电路后封装非常重要的工艺之一，其利用硅片的边缘做阳极，硅片中间的电镀窗口做阴极，然后在阴阳两极之间加一定的直流工作电压，通过控制电流大小及电镀槽中电镀液的浓度来控制金属凸块的高度。由于光刻胶不导电，因此在电镀工艺之前需将硅片边缘的光刻胶去掉，而去边宽度大小取决于前道WEE（wafer edge exclusion）工艺的去边宽度。随着半导体器件工艺情况的日臻复杂，其对边缘曝光系统也不断提出新的要求，如精确地控制边缘曝光的宽度、位置、剂量等，需要对边缘曝光镜头的性能进行更严格的控制。

在一般的边缘曝光镜头中，利用视场光阑的形状来控制边缘曝光光斑的形状和大小。狭缝开口的平行性、对称性、开闭的均匀性、狭缝宽度对边缘曝光系统的性能有重要的影响，目前的狭缝主要有以下几类：1、固定的宽度狭缝，该狭缝结构简单、成本低、狭缝宽度不可调节；2、采用丝杆调节狭缝宽度的单向可调式狭缝，公告号为2656966Y的中国专利公开了一种简易适用的可调狭缝装置，采用螺纹传动，带动狭缝片进行平移，这种狭缝装置无对称性，精度较低，结构松散，不适合精密镜头适用；3、采用调节螺杆推动狭缝片平移，公布号为101915613A的中国专利公开了一种可双向调节缝宽的狭缝调整装置，该种调节缝宽的方式结构复杂，精度不高，结构松散、对称性不好，不适合精密镜头适用。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供了一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置，以解决狭缝装置结构松散、精度较低、对称性较差的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：提供一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置，包括：镜筒；与所述镜筒螺纹匹配的可调节镜筒；楔形滑块，轴向固定设置在所述可调节镜筒内；可调狭缝片单元，包括两个对称连接的可调狭缝片，所述可调狭缝片的一端具有导向槽，所述楔形滑块的楔形面与所述导向槽匹配；锁紧单元，与所述镜筒连接。

进一步地，所述可调节镜筒的内孔设置有光学细牙螺纹。

进一步地，所述可调狭缝片单元还包括销以及弹簧，所述两个可调狭缝片通过所述销和所述弹簧对称连接。

进一步地，所述楔形滑块通过球头柱塞轴向固定在所述可调节镜筒内。

进一步地，可调缝宽的狭缝光阑调整装置还包括滚珠轴承，所述可调节镜筒与所述楔形滑块通过所述滚珠轴承连接。

进一步地，所述锁紧单元为锁紧螺母，所述锁紧螺母的内孔加工光学细牙螺纹，与所述镜筒连接。

进一步地，所述锁紧单元为电机控制元件，所述电机控制元件与所述镜筒连接。

本实用新型提供的可调缝宽的狭缝光阑调整装置，通过旋转可调节镜筒带动与其连接的楔形滑块做轴向运动，在楔形滑块的作用下，可调狭缝片将轴向运动转化为径向运动，从而调节缝宽，结构紧凑，稳定性高；本实用新型的可调缝宽的狭缝光阑调整装置以镜筒轴为旋转中心，在调整过程中可调狭缝片对称向两侧移动，调整到需要的宽度后不需要再对准，操作简单可靠。

进一步地，本实用新型的可调缝宽的狭缝光阑调整装置的调整精度由光学仪器细牙螺纹的螺距、镜筒螺纹直径、楔形滑块的角度决定，可以保证较高较稳定的精度。

进一步地，在本实用新型提供的可调缝宽的狭缝光阑调整装置，将可调节镜筒外接电动控制元件，可进行电动调整。

附图说明

图1a为本实用新型实施例提供的一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置的分解结构示意图；

图1b为本实用新型实施例提供的一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置的剖面结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的楔形滑块设置在可调镜筒内的立体结构示意图；

图3a为本实用新型实施例提供的可调狭缝片单元的侧面立体结构示意图；

图3b为本实用新型实施例提供的可调狭缝片单元的正面立体结构示意图;

图4为本实用新型实施例提供的楔形滑块与可调狭缝片相互匹配设置的剖面结构示意图。

图5为本实用新型实施例提供的镜筒、可调狭缝片和楔形滑块之间导向槽结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。