[实用新型]可调缝宽的狭缝光阑调整装置有效
申请号: | 201320284563.9 | 申请日: | 2013-05-22 |
公开(公告)号: | CN203287600U | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
发明(设计)人: | 赵丽丽 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可调 狭缝 光阑 调整 装置 | ||
1.一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置,其特征在于,包括:
镜筒;
与所述镜筒螺纹匹配的可调节镜筒;
楔形滑块,轴向固定设置在所述可调节镜筒内;
可调狭缝片单元,包括两个对称连接的可调狭缝片,所述可调狭缝片的一端具有导向槽,所述楔形滑块的楔形面与所述导向槽匹配;
锁紧单元,与所述镜筒连接。
2.根据权利要求1所述的可调缝宽的狭缝光阑调整装置,其特征在于,所述可调节镜筒的内孔设置有光学细牙螺纹。
3.根据权利要求1所述的可调缝宽的狭缝光阑调整装置,其特征在于,所述可调狭缝片单元还包括销以及弹簧,所述两个可调狭缝片通过所述销和所述弹簧对称连接。
4.根据权利要求1所述的可调缝宽的狭缝光阑调整装置,其特征在于,所述楔形滑块通过球头柱塞轴向固定在所述可调节镜筒内。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的可调缝宽的狭缝光阑调整装置,其特征在于,还包括滚珠轴承,所述可调节镜筒与所述楔形滑块通过所述滚珠轴承连接。
6.根据权利要求1所述的可调缝宽的狭缝光阑调整装置,其特征在于,所述锁紧单元为锁紧螺母,所述锁紧螺母的内孔加工光学细牙螺纹,与所述镜筒连接。
7.根据权利要求1所述的可调缝宽的狭缝光阑调整装置,其特征在于,所述锁紧单元为电机控制元件,所述电机控制元件与所述镜筒连接。
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