[实用新型]一种导向轮、基板传送装置及基板加工设备

摘要

本实用新型公开了一种导向轮、基板传送装置及基板加工设备，其中上述基板传送装置的导向轮，包括支撑杆、内环体、以及外环体，外环体可绕其轴线旋转地套设于内环体外围；内环体可沿其轴线延伸方向滑动地套设于支撑杆的外围，支撑杆与内环体之间具有锁定支撑杆与内环体相对位置的锁止机构。上述导向轮，其外环体与基板接触的部分磨损之后，可以沿内环体的轴线延伸方向滑动上述内环体，调节内环体与支撑杆之间的位置，将外环体已磨损的部位移开，将未与基板接触的部分调节至与基板接触的位置，然后通过锁止结构锁定内环体与支撑杆之间的相对位置，从而保证导向轮可以继续使用。所以，上述导向轮中外环体的利用率较高，导向轮的使用寿命较长。

主权项

一种基板传送装置的导向轮，包括支撑杆、内环体、以及外环体，所述外环体可绕其轴线旋转地套设于所述内环体外围；其特征在于，所述内环体可沿其轴线延伸方向滑动地套设于所述支撑杆的外围，所述支撑杆与所述内环体之间具有锁定所述支撑杆与所述内环体相对位置的锁止机构。