[实用新型]一种导向轮、基板传送装置及基板加工设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种导向轮、基板传送装置及基板加工设备。

背景技术

在半导体加工技术领域，特别是在薄膜晶体管液晶显示装置TFT-LCD等器件的制备加工过程中，基板在各个工艺设备的中的需要基板传送装置进行传送时的传送轨迹是确定的。

使用基板传送装置对基板进行传送时，基板传送装置通过设置在其传送带的基板传送轨迹的两侧对称设置有多对相互对应的导向轮来限定基板的传送轨迹。

如图1所示，现有技术中采用的导向轮包括：支撑杆04、同轴套设在支撑杆04外围且与支撑杆04相对位置固定的内环体03、同轴套设在内环体03外围的外环体01；内环体03与外环体01之间设有滚珠02，外环体01可以相对于内环体03绕上述内环体03的旋转轴线旋转。

如图2所示，在对基板的具体传送过程中，支撑杆04与在基板传送装置的传送带06的两侧，每一对相互对应的外环体01相对的两侧分别与传送带06上放置的基板05的侧边接触；导向轮的外环体01与基板05的侧面接触产生的向内的推力将基板05限制在传送带06的中间，确保基板在传送过程中不脱离其传送轨迹，从而避免了在基板05在传送过程中因脱离传送轨迹发生偏移，降低基板05在传送过程中与传送带06两侧的其他部件发生碰撞的风险。

但是，现有技术中的导向轮在长时间使用之后，导向轮的外环体01与基板05接触的位置会由于与基板05之间的摩擦而磨损出现凹槽，继续使用已经磨损处凹槽的导向轮会造成基板损坏等不良后果，因此，在导向轮的外环体01与基板05接触的位置出现磨损凹槽时就不能再使用，必须更换新的导向轮，现有技术中的导向轮对外环体01的利用率较低。

实用新型内容

本实用新型提供了一种导向轮、基板传送装置及基板加工设备，导向轮中外环体的利用率较高，导向轮的使用寿命较长。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种基板传送装置的导向轮，包括支撑杆、内环体、以及外环体，所述外环体可绕其轴线旋转地套设于所述内环体外围；所述内环体可沿其轴线延伸方向滑动地套设于所述支撑杆的外围，所述支撑杆与所述内环体之间具有锁定所述支撑杆与所述内环体相对位置的锁止机构。

优选地，所述锁止机构包括：

设置于所述内环体内壁、沿所述外环体轴线的延伸方向排列的多个卡槽，每一个所述卡槽凹向所述外环体；

设置于所述支撑杆的限位装置，所述限位装置具有伸入所述卡槽且可回缩至与所述内环体的内壁平齐的至少一个卡块。

优选地，所述限位装置包括一端固定于所述支撑杆的弹簧片，所述弹簧片另一端的端头形成所述卡块。

优选地，沿所述外环体轴线的延伸方向：

所述卡块伸入所述卡槽的一端的纵截面的形状为弧形，每一个所述卡槽为与所述卡块契合的弧形槽；

或者，所述卡块伸入所述卡槽的一端的纵截面的形状为楔形，每一个所述卡槽为与所述卡块契合的楔形槽。

优选地，所述锁止机构还包括：

所述支撑杆设有的延伸方向垂直于所述外环体轴线的通槽，所述卡块为两个，且两个所述卡块与所述通槽滑动配合，两所述卡块之间设有处于压缩蓄力状态的弹簧。

优选地，所述锁止机构包括：

设置于所述支撑杆的外螺纹，和设置于所述内环体内壁的内螺纹。

优选地，所述锁止机构还包括：位置调节之后锁紧所述内环体和支撑杆的锁紧螺母。

优选地，所述外环体和所述内环体之间具有滚珠。

本实用新型还提供了一种基板传送装置，包括上述技术方案中提供的任一种导向轮。

本实用新型还提供了一种基板加工设备，包括上述技术方案中提供的基板传送装置。

本实用新型提供的基板传送装置的导向轮，包括支撑杆、内环体、以及外环体，所述外环体可绕其轴线旋转地套设于所述内环体外围；所述内环体可沿其轴线延伸方向滑动地套设于所述支撑杆的外围，所述支撑杆与所述内环体之间具有锁定所述支撑杆与所述内环体相对位置的锁止机构。

上述导向轮，其外环体与基板接触的部分磨损之后，可以沿内环体的轴线延伸方向滑动上述内环体，调节内环体与支撑杆之间的位置，将外环体已磨损的部位移开，将未与基板接触的部分调节至与基板接触的位置，然后通过锁止结构锁定内环体与支撑杆之间的相对位置，从而保证导向轮可以继续使用。

所以，本实用新型提供的导向轮中外环体的利用率较高，导向轮的使用寿命较长。

附图说明