[实用新型]一种导向轮、基板传送装置及基板加工设备

权利要求书

1.一种基板传送装置的导向轮，包括支撑杆、内环体、以及外环体，所述外环体可绕其轴线旋转地套设于所述内环体外围；其特征在于，所述内环体可沿其轴线延伸方向滑动地套设于所述支撑杆的外围，所述支撑杆与所述内环体之间具有锁定所述支撑杆与所述内环体相对位置的锁止机构。

2.根据权利要求1所述的导向轮，其特征在于，所述锁止机构包括：

设置于所述内环体内壁、沿所述外环体轴线的延伸方向排列的多个卡槽，每一个所述卡槽凹向所述外环体；

设置于所述支撑杆的限位装置，所述限位装置具有伸入所述卡槽且可回缩至与所述内环体的内壁平齐的至少一个卡块。

3.根据权利要求2所述的导向轮，其特征在于，所述限位装置包括一端固定于所述支撑杆的弹簧片，所述弹簧片另一端的端头形成所述卡块。

4.根据权利要求3所述的导向轮，其特征在于，沿所述外环体轴线的延伸方向：

所述卡块伸入所述卡槽的一端的纵截面的形状为弧形，每一个所述卡槽为与所述卡块契合的弧形槽；

或者，所述卡块伸入所述卡槽的一端的纵截面的形状为楔形，每一个所述卡槽为与所述卡块契合的楔形槽。

5.根据权利要求2所述的导向轮，其特征在于，所述锁止机构还包括：

所述支撑杆设有的延伸方向垂直于所述外环体轴线的通槽，所述卡块为两个，且两个所述卡块与所述通槽滑动配合，两所述卡块之间设有处于压缩蓄力状态的弹簧。

6.根据权利要求1所述的导向轮，其特征在于，所述锁止机构包括：

设置于所述支撑杆的外螺纹，和设置于所述内环体内壁的内螺纹。

7.根据权利要求6所述的导向轮，其特征在于，所述锁止机构还包括：位置调节之后锁紧所述内环体和支撑杆的锁紧螺母。

8.根据权利要求1～7任一项所述的导向轮，其特征在于，所述外环体和所述内环体之间具有滚珠。

9.一种基板传送装置，其特征在于，包括如权利要求1～8任一项所述的导向轮。

10.一种基板加工设备，其特征在于，包括如权利要求9所述的基板传送装置。