[实用新型]一种等离子体刻蚀机的传片系统

摘要

一种等离子体刻蚀机的传片系统，由装载装置和机械手装置组成；装载装置包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体设取送片口，取送片口处设插板阀；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；机械手装置包括机械手和容纳腔，容纳腔通过插板阀与装载腔体连通；装载腔体内部设有托盘架，托盘架具有多个托持位，每个托持位均设有缺口，托盘架固定于底架上，底架与升降旋转装置连接；升降旋转装置包括升降工作部和旋转工作部，升降工作部包括导向杆，升降电机和升降传动机构；旋转工作部包括旋转电机和旋转传动机构；导向杆与腔体之间间隙密封。本实用新型具有片盘吞吐量增大，自动化程度高的优点。

主权项

一种等离子体刻蚀机的传片系统，由装载装置和机械手装置组成；其特征在于：装载装置包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体一侧设有取送片口，取送片口处设有插板阀；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；机械手装置包括机械手和机械手的容纳腔，容纳腔通过插板阀与装载腔体连通，机械手经取送片口进入装载腔体内；装载腔体内部设有托持片盘的托盘架，托盘架具有多个托持片盘的托持位，每个托持位均设有允许片盘离开的缺口，托盘架固定于底架上，底架与升降旋转装置连接；升降旋转装置包括带动托盘架抬起或下落的升降工作部，和带动托盘架旋转以转换托持位的旋转工作部，升降工作部包括插入装载腔体内的导向杆，升降电机和连接导向杆与升降电机的升降传动机构；旋转工作部包括旋转电机和连接导向杆与旋转电机的旋转传动机构；导向杆与腔体之间间隙密封。