[实用新型]一种等离子体刻蚀机的传片系统

权利要求书

1.一种等离子体刻蚀机的传片系统，由装载装置和机械手装置组成；其特征在于：装载装置包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体一侧设有取送片口，取送片口处设有插板阀；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；机械手装置包括机械手和机械手的容纳腔，容纳腔通过插板阀与装载腔体连通，机械手经取送片口进入装载腔体内；装载腔体内部设有托持片盘的托盘架，托盘架具有多个托持片盘的托持位，每个托持位均设有允许片盘离开的缺口，托盘架固定于底架上，底架与升降旋转装置连接；升降旋转装置包括带动托盘架抬起或下落的升降工作部，和带动托盘架旋转以转换托持位的旋转工作部，升降工作部包括插入装载腔体内的导向杆，升降电机和连接导向杆与升降电机的升降传动机构；旋转工作部包括旋转电机和连接导向杆与旋转电机的旋转传动机构；导向杆与腔体之间间隙密封。

2.如权利要求1所述的等离子体刻蚀机的传片系统，其特征在于：机械手包括托取片盘的手指，与驱动元件连接的主动臂和连接手指与主动臂的连接臂，连接臂一端与主动臂铰接，另一端与手指铰接，驱动元件带动主动臂做旋转运动。

3.如权利要求1或2所述的等离子体刻蚀机的传片系统，其特征在于：升降传动机构包括与升降电机的输出轴连接的减速机，与导向杆连接的丝杠和连接丝杠与减速机的联轴器，导向杆内开设有与丝杠啮合的螺孔，丝杠旋转时导向杆仅上下运动；

旋转传动机构包括固定于导向杆上的蜗轮和与旋转电机的输出轴连接的蜗杆，蜗轮蜗杆啮合传动，旋转电机为步进电机，旋转电机步进一次托盘架旋转一个托持位；导向杆上固定有托持旋转工作部的托架。

4.如权利要求3所述的等离子体刻蚀机的传片系统，其特征在于：导向杆套设于真空波纹管内，真空波纹管两端的法兰接头分别固定于导向杆上，真空波纹管外套有保护套；真空波纹管底部与背紧螺母连接，背紧螺母的另一端与减速机外壳通过螺纹连接。

5.如权利要求4所述的等离子体刻蚀机的传片系统，其特征在于：真空波纹管和装载腔体之间固定有套筒，蜗轮和蜗杆（83）均位于套筒内，旋转电机固定于套筒上。

6.如权利要求5所述的等离子体刻蚀机的传片系统，其特征在于：每个托持位均设有台阶槽，片盘放置于台阶槽上。

7.如权利要求6所述的等离子体刻蚀机的传片系统，其特征在于：腔盖上设有装载观察窗；机械手腔设有盖子，盖子上设有机械手观察窗。