[实用新型]一种等离子体刻蚀机的传片系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及等离子体刻蚀技术领域，涉及一种等离子体刻蚀机的传片系统。

背景技术

等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

传片系统是等离子体刻蚀机的重要组成部分，其作用时将待刻蚀片盘送入刻蚀腔内，等刻蚀完成后，再将片盘取出。现有的等离子体刻蚀机的传片系统每次只能装在一个片盘，片盘的吞吐量小，自动化程度低，不能实现批量加工。

实用新型内容

为了克服现有技术的传片系统片盘吞吐量小，自动化程度低的缺点，本实用新型提供了一种片盘吞吐量增大，自动化程度高的等离子体刻蚀机的传片系统。

一种等离子体刻蚀机的传片系统，由装载装置和机械手装置组成；

其特征在于：装载装置包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体一侧设有取送片口，取送片口处设有插板阀；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；

机械手装置包括机械手和机械手的容纳腔，容纳腔通过插板阀与装载腔体连通，机械手经取送片口进入装载腔体内；

装载腔体内部设有托持片盘的托盘架，托盘架具有多个托持片盘的托持位，每个托持位均设有允许片盘离开的缺口，托盘架固定于底架上，底架与升降旋转装置连接；

升降旋转装置包括带动托盘架抬起或下落的升降工作部，和带动托盘架旋转以转换托持位的旋转工作部，升降工作部包括插入装载腔体内的导向杆，升降电机和连接导向杆与升降电机的升降传动机构；旋转工作部包括旋转电机和连接导向杆与旋转电机的旋转传动机构；导向杆与腔体之间间隙密封。

进一步，机械手包括托取片盘的手指，与驱动元件连接的主动臂和连接手指与主动臂的连接臂，连接臂一端与主动臂铰接，另一端与手指铰接，驱动元件带动主动臂做旋转运动。

进一步，升降传动机构包括与升降电机的输出轴连接的减速机，与导向杆连接的丝杠和连接丝杠与减速机的联轴器，导向杆内开设有与丝杠啮合的螺孔，丝杠旋转时导向杆仅上下运动；

旋转传动机构包括固定于导向杆上的蜗轮和与旋转电机的输出轴连接的蜗杆，蜗轮蜗杆啮合传动，旋转电机为步进电机，旋转电机步进一次托盘架旋转一个托持位；导向杆上固定有托持旋转工作部的托架。

进一步，导向杆套设于真空波纹管内，真空波纹管两端的法兰接头分别固定于导向杆上，真空波纹管外套有保护套；真空波纹管底部与背紧螺母连接，背紧螺母的另一端与减速机外壳通过螺纹连接。

进一步，真空波纹管和装载腔体之间固定有套筒，蜗轮和蜗杆83均位于套筒内，旋转电机固定于套筒上。

进一步，每个托持位均设有台阶槽，片盘放置于台阶槽上。

进一步，腔盖上设有装载观察窗；机械手腔设有盖子，盖子上设有机械手观察窗。

本实用新型的使用过程如下：先将待刻蚀片盘放置于托盘架的托持位上，关闭腔盖、机械手腔的盖子和插板阀，真空测量装置连接口上接真空机械泵。接着，开启真空机械泵对装载腔体抽真空。当达到设备预定真空度后，升降工作部带动托盘架升起，此时，开启插板阀，驱动元件带动机械手向外旋出，机械手的手指进入装载腔体内，且手指位于托盘架下方。接着，升降工作部下降，托盘架的片盘落入机械手臂内。机械手向机械手腔内旋回，片盘从缺口脱出托持位，机械手将片盘送入刻蚀机的刻蚀腔内，同时，插板阀关闭。当片盘刻蚀完成后，插板阀开启，机械手将片盘送入装载腔体内，升降工作部使托盘架升起，托起片盘，机械手撤回。然后升降工作部使托盘架下落。再由旋转工作部使托盘架旋转到下一托持位，重复上述将片盘送入刻蚀腔和将刻蚀完成的片盘送回装载腔体的步骤，直到装载腔体内的片盘被全部刻蚀完。当片盘刻蚀完成后，外界气源向装载腔体内充气，使装载腔体内与外界气压相当，打开腔盖，取出片盘。

本实用新型的有益效果是：可以一次性装载多个片盘，能够实现多盘连续自动刻蚀，生产效率高，自动化程度高，能够适应大规模工业化生产需求。

附图说明

图1是本发明的示意图。

图2是装载装置的剖视图。

图3是装载装置的正视图。

图4是机械手的示意图。

图5是本发明的俯视图。

具体实施方式

一种等离子体刻蚀机的传片系统，由装载装置和机械手装置组成；