[实用新型]热固化装置有效
| 申请号： | 201320107046.4 | 申请日： | 2013-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN203091237U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 任文明;栗芳芳;余峰 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 230011 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种热固化装置，包括热固化腔体，还包括：加热承载单元，用于对热固化腔体加热，并支撑待固化的基板，加热承载单元可改变所支撑的待固化的基板位置；进气单元，用于使热固化腔体内的气体流动，所述进气单元位于所述加热承载单元的上方，其进气方向朝向加热承载单元。本实用新型形成有膜层的待固化的基板在加热基台上方有规律的移动，使整个待固化的基板受热均匀，能够避免基板膜层固化后厚度不均的问题；进气单元与加热承载单元共同作用，能够实现膜层全方位加热，简化制作工艺，提高产品良率，降低生产成本，最终提高产品的竞争力，适用于显示面板制造中对成膜平坦度要求高的工艺，尤其适用于取向膜预固化工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 固化 装置 | ||
【主权项】：
一种热固化装置，包括热固化腔体，其特征在于，还包括：加热承载单元，用于对所述热固化腔体加热，并支撑待固化的基板，所述加热承载单元可改变所支撑的待固化的基板位置；进气单元，用于使所述热固化腔体内的气体流动，所述进气单元位于所述加热承载单元的上方，其进气方向朝向所述加热承载单元。
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