[实用新型]热固化装置

说明书

本实用新型涉及显示技术领域，特别是涉及一种热固化装置。

在显示面板制备工艺中，包含在基板上形成取向膜、黑矩阵层、彩色滤光层等步骤，都需要对膜层进行固化以使其固化成型。现有技术中，固化通常采用下述几种方式进行，但是每种方式都对应存在不同的缺陷，具体描述如下。

（1）将加热板设置在基板上方，通过加热板与基板之间气体的热交换作用，实现对基板上膜层的固化，基板在整个固化过程处于静止的状态，可避免针孔不良，但在真空吸附固定基板的位置存在加热不均和吸附不良的隐患；（2）使用密闭腔进行热固化，密闭腔的使用虽然可以减少因气流流动而导致的膜厚不均问题，但基板与加热接触部和传送部存在接触不良的隐患；（3）设置了进气和气体吸收装置的预固化技术，理论上可形成厚度更为均一的膜层，但存在气流流动的紊乱和真空吸附固定基板的位置加热不均、吸附不良的隐患；（4）运用远红外辐射式加热基板的技术，该加热方法可减少加热不均带来的相关不良，但整个预固化过程中，基板相对于承载基台处于静止状态，存在真空吸附固定基板的位置加热不均和吸附不良的隐患。

（一）要解决的技术问题

本实用新型的目的是改善热固化过程中加热不均以及基板支撑位置膜层厚度不均、吸附不良的缺陷。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种热固化装置，包括热固化腔体，还包括：

加热承载单元，用于对所述热固化腔体加热，并支撑待固化的基板，所述加热承载单元可改变所支撑的待固化的基板位置；

进气单元，用于使所述热固化腔体内的气体流动，所述进气单元位于所述加热承载单元的上方，其进气方向朝向所述加热承载单元。

其中，所述加热承载单元包括加热基台，所述加热基台上设置有多个支柱，所述支柱用于支撑所述待固化的基板。

其中，还包括用于夹持所述待固化的基板的气动夹手，所述气动夹手上安装有丝杠，所述丝杠连接动力驱动单元。

其中，所述多个支柱在所述加热基台上均匀分布。

其中，所述支柱的顶端设置有滚珠，所述待固化的基板放置于所述滚珠上。

其中，所述支柱的顶端设置有滚珠，所述待固化的基板放置于所述滚珠上。

其中，所述滚珠嵌入所述支柱的顶端，且在所述支柱顶端可滚动。

其中，所述支柱由绝热材料制成，所述滚珠由导热材料制成。

其中，所述进气单元连通外部环境气体。

（三）有益效果

上述技术方案所提供的热固化装置，形成有膜层的待固化的基板在加热承载单元上方有规律的移动，能够使整个待固化的基板受热均匀，不会引起基板与加热承载单元接触部位受热不均，从而能够避免基板上膜层固化后厚度不均的问题；进气单元与加热承载单元共同作用，能够实现膜层全方位加热，简化制作工艺，提高产品良率，降低生产成本，最终提高产品的竞争力，适用于显示面板制造中对成膜平坦度要求高的工艺，尤其适用于取向膜预固化工艺。

图1是本实用新型实施例中热固化装置的结构示意图；

图2是图1热固化装置中气动夹手加持待固化的基板的示意图；

图3是待固化的基板在固化加热过程中移动的示意图；

图4是本实施例中支撑待固化的基板的支柱的结构示意图。

其中，1：待固化的基板；2：膜层；3：加热基台；4：支柱；5：进气单元；6：滚珠；7：气动夹手；8：丝杠。

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

本实用新型采用动态加热方式实现基板上膜层的均匀固化，通过可改变所支撑的待固化的基板位置的加热承载单元和位于加热承载单元上方的进气单元，能够实现加热承载单元对所述待固化的基板上的膜层进行动态加热，避免局部受热不均匀，影响膜层固化后的厚度均一性以及固化质量；进气单元与加热承载单元相对设置，能够使得进气单元引入的气体吹拂加热基台后产生的热空气更加均匀的分布在膜层表面，使膜层表面均匀受热且加快固化的速度。

本实用新型提供了一种热固化装置，包括

本实用新型提供了一种热固化装置，包括

热固化腔体；

加热承载单元，用于对所述热固化腔体加热，并支撑待固化的基板，所述加热承载单元可改变所支撑的待固化的基板位置；

进气单元，用于使所述热固化腔体内的气体流动，所述进气单元位于所述加热承载单元的上方，其进气方向朝向所述加热承载单元。