[实用新型]热固化装置

权利要求书

一种热固化装置，包括热固化腔体，其特征在于，还包括：

加热承载单元，用于对所述热固化腔体加热，并支撑待固化的基板，所述加热承载单元可改变所支撑的待固化的基板位置；

进气单元，用于使所述热固化腔体内的气体流动，所述进气单元位于所述加热承载单元的上方，其进气方向朝向所述加热承载单元。

如权利要求1所述的热固化装置，其特征在于，所述加热承载单元包括加热基台，所述加热基台上设置有多个支柱，所述支柱用于支撑所述待固化的基板。

如权利要求2所述的热固化装置，其特征在于，还包括用于夹持所述待固化的基板的气动夹手，所述气动夹手上安装有丝杠，所述丝杠连接动力驱动单元。

如权利要求2所述的热固化装置，其特征在于，所述多个支柱在所述加热基台上均匀分布。

如权利要求2所述的热固化装置，其特征在于，所述支柱的顶端设置有滚珠，所述待固化的基板放置于所述滚珠上。

如权利要求5所述的热固化装置，其特征在于，所述滚珠嵌入所述支柱的顶端，且在所述支柱顶端可滚动。

如权利要求5所述的热固化装置，其特征在于，所述支柱由绝热材料制成，所述滚珠由导热材料制成。

如权利要求1所述的热固化装置，其特征在于，所述进气单元连通外部环境气体。