[实用新型]具有保护套的限制件有效

专利信息
申请号: 201320093368.8 申请日: 2013-02-21
公开(公告)号: CN203232858U 公开(公告)日: 2013-10-09
发明(设计)人: 盛剑平;徐子政;张宸豪;钟承恩 申请(专利权)人: 家登精密工业股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/68
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 中国台湾新北*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型提供一种具有保护套的限制件,其可设置于基板收纳容器,并抵接收纳于基板收纳容器内的至少一基板。本实用新型的限制件具有至少一限制部及至少一保护套,保护套设置于限制部,当限制部抵接于基板的边缘时,限制部因设有保护套而不会直接与基板的边缘接触,所以基板不会与限制部产生摩擦,进而不会产生污染颗粒于基板收纳容器内。此外,也避免基板的一钝化层被限制部夹碎而产生大量污染颗粒。
搜索关键词: 具有 护套 限制
【主权项】:
一种具有保护套的限制件,其特征在于,其包含:一本体,其设置于一基板收纳容器内,并具有至少一限制部;以及至少一保护套,其套设于该限制部,该保护套抵接收纳于该基板收纳容器内的至少一基板的边缘。
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