[实用新型]一种抑制二级光谱的紫外光谱测量系统

摘要

本实用新型涉及光学测试技术领域，具体的讲是一种抑制二级光谱的紫外光谱测量系统，其中包括当进行110nm-200nm波段的紫外光谱测量时，将真空仓抽真空，紫外辐射透过所述真空仓的氟化镁窗口进入到检测设备，其中所述氟化镁窗口用于吸收波段在110nm以下的紫外辐射；当进行200nm-400nm波段的紫外光谱测量时，向所述真空仓中注入气体，所述紫外辐射通过所述真空仓中的空气和所述氟化镁窗口进入到检测设备，其中所述空气吸收波段在200nm以下的紫外辐射。通过本实用新型的实施例，在紫外光谱测量时光源光谱辐射度校准和探测器响应度校准中，将二级光谱的杂散辐射有效滤除，减少测量误差，提升测量精度。

主权项

一种抑制二级光谱的紫外光谱测量系统，其特征在于， 真空仓具有真空泵和排气阀，所述真空泵将所述真空仓抽真空，所述排气阀将空气注入所述真空仓，所述真空仓具有氟化镁窗口，紫外辐射透过所述真空仓的氟化镁窗口进入到检测设备，所述真空仓中放置标准紫外器件和被测紫外器件，所述真空仓的氟化镁窗口与所述真空仓外的紫外单色仪相连接，所述紫外单色仪与紫外光源或者探测器相连接。