[实用新型]一种抑制二级光谱的紫外光谱测量系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学测试技术领域，具体的讲是一种抑制二级光谱的紫外光谱测量系统。 

背景技术

紫外波段按照能否在大气中进行传播，广义上分为真空紫外波段(10nm～200nm)和非真空紫外波段(200nm～400nm)。在真空紫外波段又细分为远紫外(80nm～200nm)和极紫外波段(10nm～80nm)，两个波段划分界限比较模糊。极紫外和远紫外(简称极远紫外)波段的辐射特性不同于可见光和红外波段，它在空间探测领域具有不可替代的优势，随着探月工程、深空探测计划、以及火星探测等计划的相续发展，受到越来越多的关注。因此对极紫外和远紫外(简称极远紫外)波段的辐射特性的测量十分必要。 

真空紫外校准技术研究中，要求校准的波段范围为110nm～400nm，在此波段范围内，存在着二级光谱干扰的问题。例如，在校准系统进行300nm波段的校准时，单色仪转动到相对应的300nm光栅位置，但探测器接收的300nm光谱能量中还包括有发射光源中150nm的二级光谱能量，影响了此波长处探测接收的光谱纯度，如果不消除这种干扰，会给各个光谱量的校准带来很大的测量误差。 

在可见和红外光谱校准中，一般都采用带通滤光片的方式来消除二级光谱的干扰。而在真空紫外校准技术研究中，相应的紫外带通滤光片膜系设计及加工制作的难度很大，成本较高，同时加入相应的带通滤光片会大大降低系统测量时的信噪比，引入测量误差。使用时，在系统中还需要加入额外的切换结构，会大大增加系统的复杂程度。因此，在真空紫外校准技术研究中如何消除二级光谱的干扰，且不引入额外的测量误差，不增加系统的复杂程度，设计的难度很大。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于排除紫外光谱测量时的二级光谱对测量结果的影响，提供了一种抑制二级光谱的紫外光谱测量系统，能够实现对紫外光谱测量时出现的二级光谱的抑制。 

本实用新型实施例提供了一种抑制二级光谱的紫外光谱测量系统， 

真空仓具有真空泵和排气阀，所述真空泵将所述真空仓抽真空，所述排气阀将空气注入所述真空仓，所述真空仓具有氟化镁窗口，紫外辐射透过所述真空仓的氟化镁窗口进入到检测设备。 

根据本实用新型实施例所述的一种抑制二级光谱的紫外光谱测量系统的一个进一步的方面，所述真空仓中放置标准紫外器件和被测紫外器件，所述真空仓的氟化镁窗口与所述真空仓外的紫外单色仪相连接，所述紫外单色仪与紫外光源或者探测器相连接。 

根据本实用新型实施例所述的一种抑制二级光谱的紫外光谱测量系统的再一个进一步的方面，所述标准紫外器件为标准紫外光源，所述被测紫外器件为被测紫外光源，所述检测设备为探测器，所述紫外单色仪与探测器相连接，当进行110nm-200nm波段的紫外光谱测量时，所述标准紫外光源与被测紫外光源的紫外辐射在抽真空的真空仓中透过氟化镁窗口和紫外单色仪进入到探测器中；当进行200nm-400nm波段的紫外光谱测量时，所述标准紫外光源与被测紫外光源的紫外辐射在真空仓的空气中透过氟化镁窗口和紫外单色仪进入到探测器中。 

根据本实用新型实施例所述的一种抑制二级光谱的紫外光谱测量系统的另一个进一步的方面，所述标准紫外器件为标准探测器，所述被测紫外器件为被测探测器，所述检测设备为标准探测器和被测探测器，所述紫外单色仪与紫外光源相连接，当进行110nm-200nm波段的紫外光谱测量时，所述紫外光源发出的紫外辐射通过紫外单色仪和氟化镁窗口进入到真空仓中，并通过真空的真空仓进入到标准探测器和被测探测器中；当进行200nm-400nm波段的紫外光谱测量时，所述紫外光源发出的紫外辐射通过紫外单色仪和氟化镁窗口进入到真空仓中，并通过真空仓中的空气进入到标准探测器和被测探测器中。 

通过本实用新型的实施例，在紫外光谱测量时光源光谱辐射度校准和探测器响应度校准中，将二级光谱的杂散辐射有效滤除，减少测量误差，提升测量精度。 

附图说明

结合以下附图阅读对实施例的详细描述，本实用新型的上述特征和优点，以及额外的特征和优点，将会更加清楚。 

图1给出了根据本实用新型的一个实施例一种抑制二级光谱的紫外光谱测量方法的流程图； 

图2所示为本实用新型实施例一种抑制二级光谱的紫外光谱测量系统的结构图。 

具体实施方式