[实用新型]抗蚀剂层的薄膜化处理装置有效
| 申请号： | 201320071960.8 | 申请日： | 2013-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN203376557U | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 丰田裕二;后闲宽彦;川合宣行;入泽宗利;梶谷邦人;中川邦弘 | 申请（专利权）人： | 三菱制纸株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/09;H05K3/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;杨楷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型的课题在于提供一种能够解决抗蚀剂图案的形成中的分辨性和追随性的问题并解决在抗蚀剂层的薄膜化处理中成为问题的气泡导致的处理不均的问题的抗蚀剂层的薄膜化处理装置。抗蚀剂层的薄膜化处理装置具有用于借助碱性水溶液将抗蚀剂层薄膜化处理的浸渍槽、对形成有抗蚀剂层的基板在浸渍于碱性水溶液体中的状态下进行运送的运送辊对，其特征在于，在抗蚀剂层的薄膜化处理装置中具有气泡抑制装置。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂层 薄膜 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂层的薄膜化处理装置，具有：浸渍槽，用于借助碱性水溶液对抗蚀剂层进行薄膜化处理；运送辊对，对形成有抗蚀剂层的基板在浸渍在碱性水溶液中的状态下进行运送，其特征在于，在抗蚀剂层的薄膜化处理装置中具有气泡抑制装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱制纸株式会社，未经三菱制纸株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320071960.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：细纱机纺纱控制系统
- 下一篇：一种接收激光信标测量大气湍流强度廓线的装置
