[实用新型]抗蚀剂层的薄膜化处理装置

权利要求书

1.一种抗蚀剂层的薄膜化处理装置，具有：浸渍槽，用于借助碱性水溶液对抗蚀剂层进行薄膜化处理；运送辊对，对形成有抗蚀剂层的基板在浸渍在碱性水溶液中的状态下进行运送，其特征在于，在抗蚀剂层的薄膜化处理装置中具有气泡抑制装置。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂层的薄膜化处理装置，其特征在于，具有向浸渍槽供给碱性水溶液的碱性水溶液供给口，气泡抑制装置是配置在碱性水溶液供给口和运送辊对之间的气泡引导板。

3.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂层的薄膜化处理装置，其特征在于，具有：用于向浸渍槽供给碱性水溶液的碱性水溶液供给泵、用于将从浸渍槽溢流的碱性水溶液向碱性水溶液贮藏容器运送的回收管、和贮藏从浸渍槽溢流的碱性水溶液的碱性水溶液贮藏容器，气泡抑制装置是配备在碱性水溶液贮藏容器内部的气泡引导板。

4.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂层的薄膜化处理装置，其特征在于，具有：用于向浸渍槽供给碱性水溶液的碱性水溶液供给泵、用于将从浸渍槽溢流的碱性水溶液向碱性水溶液贮藏容器运送的回收管、和贮藏从浸渍槽溢流的碱性水溶液的碱性水溶液贮藏容器，气泡抑制装置是设置在比碱性水溶液贮藏容器中的碱性水溶液的液面靠下方的回收管排出口。

5.如权利要求1所述的抗蚀剂层的薄膜化处理装置，具有向浸渍槽供给碱性水溶液的碱性水溶液供给口、用于向浸渍槽供给碱性水溶液的碱性水溶液供给泵、用于将从浸渍槽溢流的碱性水溶液向碱性水溶液贮藏容器运送的回收管、和贮藏从浸渍槽溢流的碱性水溶液的碱性水溶液贮藏容器，气泡抑制装置是配置在碱性水溶液供给口和运送辊对之间的气泡引导板、配备在碱性水溶液贮藏容器内部的气泡引导板、设置在比碱性水溶液贮藏容器中的碱性水溶液的液面靠下方的回收管排出口。

6.根据权利要求1、2、5的任意一项所述的抗蚀剂层的薄膜化处理装置，其特征在于，具有向浸渍槽供给碱性水溶液的碱性水溶液供给口，气泡抑制装置是配备于浸渍槽的超声波发生装置。

7.根据权利要求1、2、5的任意一项所述的抗蚀剂层的薄膜化处理装置，其特征在于，具有：用于向浸渍槽供给碱性水溶液的碱性水溶液供给泵、用于将从浸渍槽溢流的碱性水溶液向碱性水溶液贮藏容器运送的回收管、和贮藏从浸渍槽溢流的碱性水溶液的碱性水溶液贮藏容器，气泡抑制装置是配备于碱性水溶液贮藏容器的超声波发生装置。

8.根据权利要求1、2、5的任意一项所述的抗蚀剂层的薄膜化处理装置，其特征在于，具有：用于向浸渍槽供给碱性水溶液的碱性水溶液供给泵、用于将从浸渍槽溢流的碱性水溶液向碱性水溶液贮藏容器运送的回收管、和贮藏从浸渍槽溢流的碱性水溶液的碱性水溶液贮藏容器，气泡抑制装置是配备在浸渍槽中的比碱性水溶液的液面低的位置的碱性水溶液喷出口。