[实用新型]一种用于丝网印刷机的硅片装片装置有效
申请号: | 201320057058.0 | 申请日: | 2013-01-31 |
公开(公告)号: | CN203157319U | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
发明(设计)人: | 严柏林;刘裕通;朱元;戴长伟 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
主分类号: | B41F15/14 | 分类号: | B41F15/14 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 陶海锋;陆金星 |
地址: | 215129 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于丝网印刷机的硅片装片装置,包括丝网印刷机的大花篮和PECVD设备的小花篮,还包括一工作平台,工作平台的一侧设有滑轨,滑轨上设有滑动连接的大花篮,工作平台的另一侧设有硅片推片装置;所述硅片推片装置包括小花篮,以及设于小花篮的正面入口处的推拉机构,所述推拉机构包括支架和设有支架上的推杆;所述硅片推片装置的小花篮的卡槽与大花篮的卡槽一一对应。本实用新型实现了将PECVD设备的小花篮中的硅片一次性推入丝网印刷机的大花篮中,在大大提高了生产效率的同时,有效地降低了碎片率,同时减少了人力支出,降低了生产成本,因而具有积极的现实意义。 | ||
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【主权项】:
一种用于丝网印刷机的硅片装片装置,包括丝网印刷机的大花篮(1)和PECVD设备的小花篮(2),其特征在于:还包括一工作平台(3),工作平台的一侧设有滑轨(4),滑轨上设有滑动连接的大花篮,工作平台的另一侧设有硅片推片装置;所述硅片推片装置包括小花篮,以及设于小花篮的正面入口处的推拉机构,所述推拉机构包括支架(5)和设有支架上的推杆(6);所述硅片推片装置的小花篮的卡槽与大花篮的卡槽一一对应。
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