[实用新型]一种用于丝网印刷机的硅片装片装置有效
| 申请号： | 201320057058.0 | 申请日： | 2013-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN203157319U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 严柏林;刘裕通;朱元;戴长伟 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | B41F15/14 | 分类号： | B41F15/14 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋;陆金星 |
| 地址： | 215129 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 丝网印刷机 硅片 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于丝网印刷机的硅片装片装置，包括丝网印刷机的大花篮(1)和PECVD设备的小花篮(2)，其特征在于：
还包括一工作平台(3)，工作平台的一侧设有滑轨(4)，滑轨上设有滑动连接的大花篮，工作平台的另一侧设有硅片推片装置；
所述硅片推片装置包括小花篮，以及设于小花篮的正面入口处的推拉机构，所述推拉机构包括支架(5)和设有支架上的推杆(6)；
所述硅片推片装置的小花篮的卡槽与大花篮的卡槽一一对应。
2.根据权利要求1所述的用于丝网印刷机的硅片装片装置，其特征在于：所述大花篮和小花篮的横截面相同，大花篮的高度是小花篮高度的2倍；
所述工作平台的另一侧平行设置有第一硅片推片装置(7)和第二硅片推片装置(8)；
所述第一硅片推片装置的小花篮的底面高于第二硅片推片装置的小花篮的顶面，且所述第一硅片推片装置和第二硅片推片装置的小花篮的卡槽均与大花篮的卡槽一一对应。
3.根据权利要求1所述的用于丝网印刷机的硅片装片装置，其特征在于：所述工作平台为阶梯结构，所述硅片推片装置设于上阶梯位置，所述滑轨设于下阶梯位置。
4.根据权利要求1所述的用于丝网印刷机的硅片装片装置，其特征在于：所述工作平台的底面四角设有高度调节装置。
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