[发明专利]一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备和检测方法有效
申请号: | 201310753642.4 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN103728515B | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 徐向阳 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙)44240 | 代理人: | 邢涛 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备,所述的线路检测设备包括生成用于阵列基板线路情况的检测信号的信号发生装置和用于接收所述检测信号并进行处理的信号接收装置;所述的检测设备还包括用于控制信号发生装置、信号接收装置任意一个或两个在与阵列基板平行的平面上沿垂直于阵列基板的栅线方向移动的控制装置。本发明提高了线路检测的准确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 针对 密集 布线 阵列 线路 检测 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备,其特征在于,所述的线路检测设备包括生成用于检测阵列基板线路情况的检测信号的信号发生装置和用于接收所述检测信号并进行处理的信号接收装置;所述的检测设备还包括用于控制信号发生装置、信号接收装置任意一个或两个在与阵列基板平行的平面上沿垂直于阵列基板的栅线方向移动的控制装置;检测时,将控制信号发生装置一端与待测线路耦合,然后将信号接收装置移动到跟该线路连接的其他线路耦合或将控制信号接收装置一端与待测线路耦合,然后将信号发生装置移动到跟该线路连接的其他线路耦合。
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