[发明专利]一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备和检测方法有效
申请号: | 201310753642.4 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN103728515B | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 徐向阳 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙)44240 | 代理人: | 邢涛 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 针对 密集 布线 阵列 线路 检测 设备 方法 | ||
1.一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备,其特征在于,所述的线路检测设备包括生成用于检测阵列基板线路情况的检测信号的信号发生装置和用于接收所述检测信号并进行处理的信号接收装置;所述的检测设备还包括用于控制信号发生装置、信号接收装置任意一个或两个在与阵列基板平行的平面上沿垂直于阵列基板的栅线方向移动的控制装置。
2.如权利要求1所述的一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备,其特征在于,所述的信号发生装置包括信号输入器,信号接收装置包括信号输出器,所述的信号输入器用于将信号发生装置生成的检测信号送到待检测线路中,而信号输出器将检测后的检测信号送到信号接收装置,所述的信号输入器和信号输出器由所述的控制装置独立控制移动和定位。
3.如权利要求1所述的一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备,其特征在于,所述的控制装置包括用于控制信号发生装置、信号接收装置任意一个或两个在平行于阵列基板栅线的方向上移动的水平控制装置;用于控制信号发生装置、信号接收装置任意一个或两个在平行于阵列基板且其投影垂直于阵列基板中的栅线的方向上移动的垂直控制装置,所述的水平控制装置和垂直控制装置独立工作。
4.如权利要求3所述的一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备,其特征在于,所述的水平控制装置包括水平平衡杆;所述的垂直控制装置包括垂直平衡杆;所述的垂直平衡杆和水平平衡杆活动连接。
5.如权利要求4所述的一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备,其特征在于,所述的水平平衡杆包括滑轨或滑槽结构,所述的垂直平衡杆包括与水平平衡杆的滑轨或滑槽相配合的滑槽或滑轨结构,所述的水平平衡杆或垂直平衡杆包括检测载台,所述的信号发生装置和信号接收装置连接于所述的检测载台。
6.如权利要求4所述的一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备,其特征在于,所述的水平平衡杆和垂直平衡杆还包括刻度,以及用于锁紧定位垂直平衡杆和水平平衡杆的锁紧螺丝部件。
7.如权利要求1所述的一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备,其特征在于,所述的信号发生装置包括设置有输入导体的信号输入器,信号接收装置包括设置有输出导体的信号输出器,所述的输入导体用于将信号发生装置生成的检测信号送到待检测线路中,而输出导体将检测后的检测信号送到信号接收装置,所述的输入导体和输出导体由所述的控制装置独立控制移动和定位;所述的控制装置包括两套垂直控制装置和至少一套水平控制装置,所述的垂直控制装置包括垂直平衡杆,所述的水平控制装置包括水平平衡杆;所述的水平平衡杆设置有滑轨或滑槽,所述的垂直平衡杆设置有与水平平衡杆相配合的滑槽或滑轨,所述的两套垂直平衡杆通过所述滑轨和滑槽的配合结构平行设置在水平平衡杆上,所述的两套垂直平衡杆在水平平衡杆上做水平运动和定位;所述的水平平衡杆和垂直平衡杆上设置有刻度,以及用于锁紧垂直平衡杆和水平平衡杆的锁紧螺丝部件,并且两套垂直控制装置在与水平平衡杆配合处,向外延伸出有延伸部,在所述的延伸部上设置有用于避免垂直平衡杆重力倾斜的重力平衡部件;所述的两套垂直控制装置还分别包括检测载台,所述的输入导体和输出导体分别设置在检测载台上;所述的输入导体和输出导体,靠近待检测的线路,形成电容,检测信号非接触的接入到待检测线路。
8.一种针对密集布线的阵列基板的线路检测方法,包括步骤:
安装检测设备并安置待检测的阵列基板,完成检测前的位置调整和校准工作;
将信号发生装置、信号接收装置任意一个或两个在与阵列基板平行的平面上沿垂直于阵列基板的栅线方向移动,信号发生装置的接入端和信号接收装置的接收端通过阵列基板的一条线路形成回路;
信号接收装置分析接收到的检测信号,并和检测前的检测信号进行比较,若检测结果大于或等于预设的误差阀值,则判断检测的线路存在问题,若检测结果小于预设的误差阀值,则判断检测的线路正常。
9.如权利要求8所述的一种针对密集布线的阵列基板的线路检测方法,其特征在于,所述阵列基板包括栅线,每一条栅线包括相邻的充电线和共享线,所述共享线与另一条栅线的充电线连接,所述的检测方法中检测共享线的步骤包括:
将信号发生装置和信号接收装置分列设置在阵列基板中栅线轴向的两侧,将信号接收装置与栅线的共享线耦合;
移动信号发生装置,使得信号发生装置跟与该共享线连接的另一条栅线的充电线耦合。
10.如权利要求8所述的一种针对密集布线的阵列基板的线路检测方法,其特征在于,所述阵列基板包括栅线,每一条栅线包括相邻的充电线和共享线,所述共享线与另一条栅线的充电线连接,所述的检测方法中检测充电线的步骤包括:
将信号发生装置和信号接收装置分列设置在阵列基板中栅线轴向的两侧,将信号接收装置与栅线的充电线耦合;
移动信号发生装置,使得信号发生装置跟与该充电线连接的另一条栅线的共享线耦合。
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