[发明专利]一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备和检测方法有效
申请号: | 201310753642.4 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN103728515B | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 徐向阳 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙)44240 | 代理人: | 邢涛 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 针对 密集 布线 阵列 线路 检测 设备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及检测设备领域,更具体的说,涉及一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备和检测方法。
背景技术
阵列基板有许多的种类,其中某些种类相对于其他类型的阵列基板拥有更加密集的布线,这类密集布线的阵列基板,其阵列线路情况检测存在明显的困难,由于走线太过密集,其线间距超过了现有的检测设备的分辨极限,且金属线之间存在干扰,这大大的影响线路情况的检出率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种能提高判断准确率的针对密集布线的阵列基板的线路检测设备和检测方法。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备,所述的检测设备包括生成用于检测阵列基板线路情况的检测信号的信号发生装置和用于接收所述检测信号并进行处理的信号接收装置;所述的检测设备还包括用于控制信号发生装置、信号接收装置任意一个或两个在与阵列基板平行的平面上沿垂直于阵列基板的栅线方向移动的控制装置。
进一步的,所述的信号发生装置包括信号输入器,信号接收装置包括信号输出器,所述的信号输入器用于将信号发生装置生成的检测信号送到待检测线路中,而信号输出器将检测后的检测信号送到信号接收装置,所述的信号输入器和信号输出器由所述的控制装置独立控制移动和定位。不同于现如今的检测设备的输入端和输出端只能在平行于栅线的方向上相对移动,本方案中的检测设备能够做到让信号输入器和信号输出器分别做不同方向上的定位调整,能够适用于更多种的布线方式的阵列基板。
进一步的,所述的控制装置包括用于控制信号发生装置、信号接收装置任意一个或两个在平行于阵列基板栅线的方向上移动的水平控制装置; 用于控制信号发生装置、信号接收装置任意一个或两个在平行于阵列基板且其投影垂直于阵列基板中的栅线的方向上移动的垂直控制装置,所述的水平控制装置和垂直控制装置独立工作。本方案的检测设备能够使得信号发生器和信号接收装置分别做水平或垂直运动,使得本方案的检测设备不仅能够适用于设置在同一水平线或同一垂直线的待检测线路,同时,还能够适用于阵列基板中的待检测线路不在同一水平线或同一垂直线上的布线方式。
进一步的,所述的水平控制装置包括水平平衡杆;所述的垂直控制装置包括垂直平衡杆;所述的垂直平衡杆和水平平衡杆活动连接。本方案的检测设备的垂直控制装置或水平控制装置能够在水平平衡杆或垂直平衡杆上运动和定位,且水平控制装置和垂直控制装置能够分别做水平和垂直运动,故而能够并通过同时水平和垂直运动的幅度做倾斜运动,且根据水平和垂直运动的幅度的不同能够做倾斜度不同的运动,因而能够使用于布线复杂的阵列基板中,线路布线不甚规则的线路的检测。
进一步的,所述的水平平衡杆包括滑轨或滑槽结构,所述的垂直平衡杆包括与水平平衡杆的滑轨或滑槽相配合的滑槽或滑轨结构,所述的水平平衡杆或垂直平衡杆包括检测载台,所述的信号发生装置和信号接收装置连接于所述的检测载台。通过本方案的检测设备,信号发生装置生成的用于检测待检测线路的检测信号,能够通过检测载台的强大的多方向定位到所需要的线路检测接入点,并通过检测载台将与检测信号的检测接入点在同一栅线或不同栅线的检测输出点送出的检测后的检测信号送到信号接收装置,这就使得本方案的检测设备适用于多种布线方式的阵列基板,因而,在换一种阵列基板检测的时候,不需要换检测设备也能够完成检测,这大大降低了检测成本。
进一步的,所述的水平平衡杆和垂直平衡杆还包括刻度,以及用于锁紧定位垂直平衡杆和水平平衡杆的锁紧螺丝部件。虽然,控制装置本身有电力驱动,但电力驱动并不是万能的,由于检测时存在着一些电力控制无法完全满足的定位需求,因而设置了刻度和能够手动控制的锁紧螺丝部件,通过刻度,以及用于锁紧垂直平衡杆和水平平衡杆的锁紧螺丝部件,检测设备能够通过电力控制和手动控制的配合完成一些特别需求的定位需求,同时通过刻度,以及用于锁紧垂直平衡杆的运动通道和水平平衡杆的移动通道的锁紧螺丝部件,能够在检测设备安装和校准的时候,手动辅助,使 得检测设备达到更好的校准效果。
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