[发明专利]一种用于多晶硅片酸制绒后的碱清洗添加剂及使用方法在审
| 申请号： | 201310635957.9 | 申请日： | 2013-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN103614249A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 张丽娟;章圆圆;王文鹏 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/72 | 分类号： | C11D1/72;C11D3/60;C11D10/02;C30B33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于多晶硅片酸制绒后的碱清洗添加剂，各组分的质量百分含量为：司班-80为0.1%～0.5%，吐温-40为0.6%～2.5%，十二烷基聚乙二醇醚为0.3%～1.5%，余量为水。本发明还提供一种用于多晶硅片碱清洗的清洗液，其含有碱溶液和上述用于多晶硅片酸制绒后的碱清洗添加剂，多晶硅片碱清洗添加剂与碱溶液的质量比为0.2～2:100，碱溶液为无机碱或有机碱的水溶液。本发明能有效清洗硅片在制绒过程中残留在表面的有机物，使得硅片表面呈现疏水状，利于硅片吹干；同时有利于硅片在碱洗过程中表面多孔硅的去除，消除由于多孔硅而导致扩散工艺不稳定的隐患，也利于后续氮化硅镀膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 硅片 酸制绒后 清洗 添加剂 使用方法 | ||
【主权项】：
一种用于多晶硅片酸制绒后的碱清洗添加剂，其特征在于，其组分包括：司班‑80、吐温‑40、十二烷基聚乙二醇醚和余量的水。
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