[发明专利]一种低功耗有机电致发光显示器件及制作方法

摘要

本发明公开了一种低功耗有机电致发光显示器件及制作方法，对于第一电极走线电极和第二电极走线电极的制作过程仅需要一次曝光，而后对第一透明导电层、金属层和第二透明导电层同步刻蚀形成第一电极走线电极和第二电极走线电极，避免了现有的分层曝光刻蚀造成偏位，而导致侧蚀的现象。同时本发明提供的有机电致发光显示器件的第三导电层有效保护第二导电层，提供第二导电层的抗氧化能力，并且由于第二导电层为金属层，其电阻低，以及第一导电层和第二导电层均为高温结晶形态薄膜，其电阻低，使得有机电致发光显示器件的功耗降低。

主权项

一种低功耗有机电致发光显示器件的制作方法，其特征在于，包括步骤：S1、自透明基板向上方向，在所述透明基板上依次形成第一透明导电层、金属层、第二透明导电层，并对所述第二透明导电层表面涂覆光刻胶，且所述第一透明导电层和第二透明导电层材料相同，且均为低温非晶形态薄膜；S2、采用第一掩膜板进行曝光显影，并采用第一刻蚀液同时刻蚀所述第一透明导电层、金属层和第二透明导电层，形成第一电极走线电极和第二电极走线电极；S3、形成第一电极，并对第一透明导电层和第二透明导电层进行高温退火；S4、自所述第一电极向上方向，在所述第一电极上依次形成空穴传输层、有机发光层、电子传输层和第二电极，所述第二电极与所述第二电极走线电极导通。