[发明专利]一种低功耗有机电致发光显示器件及制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及平板显示器技术领域，更具体地说，涉及一种低功耗有机电致发光显示器件及制作方法。

背景技术

有机电致发光显示器件（Organic Electroluminescence Display，OLED）具有自发光的特性，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板，当电流通过时，有机材料就会发光。而且OLED显示屏的可视角度大，可以实现柔性化，并且能够显著节省电能，因此OLED显示屏具备了许多发光二极管不可比拟的优势。

结合图1a和1b所示，图1a为现有OLED的玻璃基板的上的电极层示意图，图1b为图1a中现有OLED沿AA’方向的切面图。其中，现有OLED包括玻璃基板100和位于玻璃基板上的第一电极1（阳极）、第一电极走线电极11和第二电极走线电极51，还包括位于第一电极1上的空穴传输层2，位于空穴传输层2上的有机发光层3，位于有机发光层3上的电子传输层4和位于电子传输层4上的第二电极5（阴极）。第一电极1的材料一般为透明的氧化铟锡，第二电极5一般为金属，如铝、镁等。而第一电极走线电极11和第二电极走线电极51均处非显示区域，且第一电极走线电极11和第二电极走线电极51的组成结构相同。为了降低显示器件上的电路电阻，从而降低显示器件产品的功耗，通常第一电极走线电极11和第二电极走线电极51由两层导电层组成，即自玻璃基板100向上依次为第一导电层101为ITO层、第二导电层102为钼铝钼层，钼铝钼层的设置，降低了电极的电阻，从而降低了OLED的功耗。

但是采用钼铝钼作为第一走线电极11和第二走线电极51中的第二导电层102，在制作OLED过程中，尤其是第一电极走线电极和第二电极走线电极的制作过程中，不仅工艺繁杂，而且经常出现第一电极走线电极和第二电极走线电极的第二导电层被刻蚀过多的现象，导致产品的良率低。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种低功耗有机电致发光显示器件及制作方法，不仅制作工艺简单，并且避免了分层曝光刻蚀造成偏位，而导致侧蚀的现象。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种低功耗有机电致发光显示器件的制作方法，包括步骤：

S1、自透明基板向上方向，在所述透明基板上依次形成第一透明导电层、金属层、第二透明导电层，并对所述第二透明导电层表面涂覆光刻胶，且所述第一透明导电层和第二透明导电层材料相同，且均为低温非晶形态薄膜；

S2、采用第一掩膜板进行曝光显影，并采用第一刻蚀液同时刻蚀所述第一透明导电层、金属层和第二透明导电层，形成第一电极走线电极和第二电极走线电极；

S3、形成第一电极，并对第一透明导电层和第二透明导电层进行高温退火；

S4、自所述第一电极向上方向，在所述第一电极上依次形成空穴传输层、有机发光层、电子传输层和第二电极，所述第二电极与所述第二电极走线电极导通。

优选的，所述第一刻蚀液为磷酸、硝酸、醋酸和水溶液，或过硫酸钠、磷酸和水溶液。

优选的，所述步骤S2还包括：

形成第一电极前期结构，所述第一电极前期结构包括具有第一电极形状的所述第一透明导电层、金属层和第二透明导电层。

优选的，所述步骤S3中形成所述第一电极具体包括：

去除剩余所述光刻胶，对所述透明基板朝向所述第一透明导电层一侧的表面、所述第一透明导电层所述金属层和所述第二透明导电层裸露的表面重新涂覆光刻胶，并采用第二掩膜板进行曝光显影，采用第二刻蚀液刻蚀掉所述第一电极前期结构的第二透明导电层，采用第三刻蚀液刻蚀掉所述第一电极前期结构的金属层，形成所述第一电极。

优选的，所述金属层为铜层、铜合金层、银层、银合金层、铝层、铝合金层、铬层、钼层、锌层或镁层。

优选的，所述金属层为铜层，所述第二刻蚀液为草酸和水溶液，所述第三刻蚀液为醋酸、双氧水和水溶液。

优选的，所述金属层为银层，所述第二刻蚀液为草酸和水溶液，所述第三刻蚀液为氨水、双氧水和水溶液。

优选的，所述金属层为铝层或镁层，所述第二刻蚀液为草酸和水溶液，所述第三刻蚀液为氢氧化钠和水溶液。

一种低功耗有机电致发光显示器件，包括透明基板，以及位于所述透明基板上的第一电极、第一电极走线电极和第二电极走线电极，所述第一电极走线电极和第二电极走线电极均包括三层导电层，自所述透明基板向上依次为第一导电层、第二导电层和第三导电层，所述第一导电层和所述第三导电层与所述第一电极的材料相同，所述第二导电层为金属层。