[发明专利]真空配管用夹具

摘要

本发明涉及真空配管用夹具，设有在半导体制造工序时用于维持主装备内的真空的多个真空配管线，不因真空配管线产生持续振动而松脱，可维持气密，使真空配管的连接稳固。真空配管用夹具用于使第一配管的第一突缘与第二配管的第二突缘以隔着中心环相接触的状态能分离地固定，包括沿内径形成第一突缘和第二突缘的第一插入槽的第一夹具。第二夹具沿内径形成第一突缘和第二突缘的第二插入槽。连杆的两端能转动地与第一夹具和第二夹具的自由端铰链结合。锁紧部件的一端与第一夹具铰链结合，另一端能分离地与第二夹具结合。第二夹具的自由端形成有固定台阶部。一个以上的辅助固定部件在第一夹具和第二夹具的外周面的一侧形成出入孔，且能通过出入孔出入。

主权项

一种真空配管用夹具，用于使第一配管的第一突缘与第二配管的第二突缘以隔着中心环相接触的状态能够分离地进行固定，其特征在于，包括：半圆形的第一夹具，沿着内径形成上述第一突缘和第二突缘的第一插入槽，半圆形的第二夹具，沿着内径形成上述第一突缘和第二突缘的第二插入槽，连杆，两端能够转动地与上述第一夹具和第二夹具的自由端铰链结合，锁紧部件，一端与上述第一夹具铰链结合，而另一端能够分离地与第二夹具相结合，以及一个以上的辅助固定部件，在上述第一夹具和第二夹具的外周面的一侧贯通形成出入孔，上述辅助固定部件能够通过上述出入孔出入；上述锁紧部件包括螺栓部和螺母部，上述螺栓部的一端能够转动地与上述第一夹具铰链结合，且上述螺栓部在外周面形成螺纹，并能够分离地与上述第二夹具的固定台阶部相结合，上述螺母部沿内径的长度方向贯通形成螺纹孔，以与上述螺栓部的外周面螺纹结合，且上述螺母部能够分离地与上述第二夹具的固定槽相结合；在上述螺母部的外周面形成第一齿轮部，在位于与上述第一齿轮部相应的位置的第二夹具形成工作室，在上述工作室还设有上述螺母部的防松脱部件，在第二夹具的侧壁以与上述工作室相连通的方式形成垂直引导孔，在上述第二夹具的自由端形成具有固定槽的固定台阶部。