[发明专利]真空配管用夹具

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空配管用夹具，更详细地，涉及如下的改良的真空配管用夹具：设有在半导体制造工序时用于维持主装备内的真空状态的多个真空配管线，这些真空配管线产生持续性的振动，不会因这种振动发生松脱现象，可维持气密状态，同时能够使真空配管的连接状态稳固维持。

背景技术

通常，半导体制造工序大体由前工序（制造工序）和后工序（封装工序）构成。前工序中，在各种处理腔内，在晶片（Wafer）上蒸镀薄膜，并对所蒸镀的薄膜进行选择性刻蚀，通过反复执行这些过程来加工特定的图案，从而制造半导体芯片（Chip）。并且，后工序中，单独分离出在前工序中制造的芯片之后，与引线框架结合来封装为成品。

此时，在晶片上蒸镀薄膜或对在晶片上蒸镀的薄膜进行刻蚀的工序在处理腔内使用有害气体在高温条件下执行。在执行这种工序的期间，处理腔的内部会大量产生各种可燃性气体和包括腐蚀性杂质及有毒成分的气体等。即，在处理腔的内部只有有害气体的约30%蒸镀在晶片的表面，一部分未反应的气体则排出。

因此，在用于使处理腔成为真空状态的真空泵的后端设置用于将从处理腔排出的气体净化之后向大气放出的洗涤器（scrubber）。

这种真空配管线以连通方式与真空泵相连接，借助真空泵的运转来维持真空配管线内的真空状态，随着这种真空泵的运转而产生的振动沿着真空配管线被传递，从而真空配管线持续振动。

但是，这种现有的真空配管用夹具随着真空配管持续振动，紧固螺母的紧固状态渐渐松脱致使夹具松驰，而存在真空配管的气密的连接状态被解除的问题。

发明内容

本发明是用于解决如上所述的问题而提出的，本发明的目的在于，提供一种如下的真空配管用夹具：利用包括锁紧弹簧和保护托架在内的多重锁紧部件来固定两个配管的突缘，从而能够维持更加牢固的结合状态，借助防松脱部件能够防止锁紧部件因外部的冲击等而自动松脱。

为了达成上述目的，本发明提供一种真空配管用夹具，用于使第一配管的第一突缘与第二配管的第二突缘以隔着中心环相接触的状态能够分离地进行固定，包括：半圆形的第一夹具，沿着内径形成上述第一突缘和第二突缘的第一插入槽，半圆形的第二夹具，沿着内径形成上述第一突缘和第二突缘的第二插入槽，连杆，两端能够转动地与上述第一夹具和第二夹具的自由端铰链结合，锁紧部件，一端与上述第一夹具铰链结合，而另一端能够分离地与第二夹具相结合，以及一个以上的辅助固定部件，在上述第一夹具和第二夹具的外周面的一侧贯通形成出入孔，上述一个以上的辅助固定部件能够通过上述出入孔出入；上述锁紧部件包括螺栓部和螺母部，上述螺栓部的一端能够转动地与上述第一夹具铰链结合，且上述螺栓部在外周面形成螺纹，并能够分离地与上述第二夹具的固定台阶部相结合，上述螺母部沿内径的长度方向贯通形成螺纹孔，以与上述螺栓部的外周面螺纹结合，且上述螺母部能够分离地与上述第二夹具的固定槽相结合；在上述螺母部的外周面形成第一齿轮部，在位于与上述第一齿轮部相应的位置的第二夹具形成工作室，在上述工作室还设有上述螺母部的防松脱部件，在第二夹具的侧壁以与上述工作室相连通的方式形成垂直引导孔，在上述第二夹具的自由端形成具有固定槽的固定台阶部。

在此，优选地，在上述第一插入槽和第二插入槽的两侧内壁形成一个以上的接触缓冲槽。

优选地，在上述第二夹具，从上述固定台阶部起连续形成防脱离槽。

优选地，在上述第一夹具和第二夹具的出入孔形成母螺纹，上述辅助固定部件由公螺纹形成，以能够与上述出入孔进行螺纹结合，在上述辅助固定部件的前端设有橡胶材质的缓冲帽，在上述螺栓部结合有两侧具有垫圈的第一弹簧，使得上述螺母部能够在上述第二夹具的固定槽被弹性支撑。

优选地，特征在于，上述螺栓部的一端呈六角形状。

优选地，在真空配管用夹具还设有保护托架，该保护托架的一端能够转动地与上述第一夹具的自由端铰链结合，而另一端能够分离地与第二夹具结合，用于防止上述第一弹簧及垫圈向外部露出。

优选地，上述保护托架由透明的塑料材质形成，以能够从外部确认上述第一弹簧和垫圈的结合状态和松脱状态。

优选地，上述防松脱部件包括防逆向旋转件和第二弹簧，卡定突起以依次与上述螺母部的第一齿轮部相接触的方式向上述防逆向旋转件的一侧突起，且上述防逆向旋转件的一端能够在垂直引导孔内上下转动地在上述工作室的内部铰链结合，上述第二弹簧设在工作室内，始终向上述防逆向旋转件的铰链结合的部位推动上述防逆向旋转件，来与上述螺母部的第一齿轮部相接触。