[发明专利]晶圆作业控制系统有效
| 申请号： | 201310613051.7 | 申请日： | 2013-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN103645692A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 倪棋梁;陈宏璘;龙吟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆作业控制系统，所述系统包括存储模块和执行模块；所述存储模块储存有各批次晶圆进行生产工艺时需要经过的腔室顺序；其中一批次晶圆在进入一反应腔室进行生产工艺时，所述执行模块读取存储模块中储存该批次晶圆需要经过腔室的顺序并执行该操作，使得该批次晶圆分别在不同的腔室内完成所有的生产工序。技术人员通过本发明根据电学性能检测结果可很快判断出问题腔室所在及相应的生产设备，极大提高了发现问题工序的效率，同时还可根据实际情况及时调整各腔室内的工艺顺序，以适应各种生产情况。 | ||
| 搜索关键词： | 作业 控制系统 | ||
【主权项】：
一种晶圆作业控制系统，其特征在于，所述系统包括存储模块和执行模块；所述存储模块储存有各批次晶圆进行生产工艺时需要经过的腔室顺序；其中一批次晶圆在进入一反应腔室进行生产工艺时，所述执行模块读取存储模块中储存该批次晶圆需要经过腔室的顺序并执行该操作，使得该批次晶圆分别在不同的腔室内完成所有的生产工序。
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