[发明专利]晶圆作业控制系统有效
| 申请号： | 201310613051.7 | 申请日： | 2013-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN103645692A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 倪棋梁;陈宏璘;龙吟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 作业 控制系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆作业控制系统，其特征在于，所述系统包括存储模块和执行模块；
所述存储模块储存有各批次晶圆进行生产工艺时需要经过的腔室顺序；
其中一批次晶圆在进入一反应腔室进行生产工艺时，所述执行模块读取存储模块中储存该批次晶圆需要经过腔室的顺序并执行该操作，使得该批次晶圆分别在不同的腔室内完成所有的生产工序。
2.如权利要求1所述的晶圆作业控制系统，其特征在于，所述存储模块包括有一可编辑单元，所述可编辑单元用于对存储模块内储存各批次晶圆进行生产工艺时经过的腔室顺序根据工艺需要进行调整。
3.如权利要求1所述的晶圆作业控制系统，其特征在于，每个所述反应腔室均包括若干台生产设备；
其中，同一腔室内包括的各台生产设备用于对晶圆进行不同的工序。
4.如权利要求3所述的晶圆作业控制系统，其特征在于，各所述反应腔室内包括有部分或全部相同的生产设备。
5.如权利要求1所述的晶圆作业控制系统，其特征在于，部分或全部批次晶圆经过的腔室顺序不同。
6.如权利要求1所述的晶圆作业控制系统，其特征在于，所述晶圆作业控制系统至少控制两个批次晶圆所需要经过的反应腔室顺序。
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