[发明专利]超纯砷烷的分析方法及其装置

摘要

本发明涉及超纯砷烷的分析方法及装置，首先，取样：采用负压进样、静态分析方式，通过分子泵机组将定量管抽空至1×10-4～1×10-7Pa，并伴随氦气吹扫、负压置换，将氧、氮真空本底降至10ppb以下，然后将超纯砷烷充入定量管至零表压进样分析；然后，分离痕量杂质：将上述取样后的待测样品气用20～50mL/min流速的载气送入经防腐防吸附处理过的分离系统进行分离痕量杂质；最后，检测：将上述经过分离痕量杂质的待测样品气输入检测器得出分析结果。超纯砷烷中的痕量杂质得以分离，由直流放电氦离子化检测器（DID）分析杂质气体；安全、稳定，能在很短的时间内给出平衡的分析值、定量准确、检测限低及分析周期短。

主权项

超纯砷烷的分析装置，其特征在于：包括四通进样阀、预分离柱、第一分析柱、第二分析柱、十通阀、六通阀和四通阀，四通进样阀的端口分别与超纯砷烷样品气管路、氦气管路、氮气管路以及十通阀的其中一端口相连，十通阀的其中一端口与分子泵机组相连，其相连的管路上安装有压力传感器和隔膜阀，十通阀的其中两端口分别与定量管的进口和出口相连，十通阀的其中两端口分别与预分离柱的进口和出口相连，十通阀的其中两端口分别与载气管路相连，十通阀的其中一端口与放空管路相连，十通阀的其中一端口与六通阀的其中一端口相连，六通阀的其中两端口分别与载气管路相连，六通阀的其中一端口与放空管路相连，六通阀的其中一端口与第一分析柱相连，第一分析柱与四通阀的其中一端口相连，六通阀的其中一端口与第二分析柱相连，第二分析柱与四通阀的其中一端口相连，四通阀的其中一端口与检测器相连，四通阀的其中一端口与放空管路相连。