[发明专利]一种大气压低功率脉冲微波冷等离子体射流发生器无效
| 申请号： | 201310577476.7 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN103607835A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 陈兆权;洪伶俐;李会会;程韦;白洋 | 申请（专利权）人： | 安徽理工大学 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 232001 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大气压低功率脉冲微波冷等离子体射流发生器。它由脉冲调制微波源、微波信号源、可调功率放大器、双定向耦合器、放电器组成，微波信号和脉冲调制信号通过同轴电缆与可调功率放大器连接，可调功率放大器、双定向耦合器、放电器依次通过同轴射频线连接，其中：放电器包含石英玻璃管，其玻璃管上包裹着一层铜膜，并且把玻璃管的一端封着，铜膜封口上均匀分布着直径为0.3mm的8个小孔，其配气系统所供的氩气通过小孔流入玻璃管中，玻璃管中间有一个离管口3mm的直径为1mm的钢针，离封口处有一个开口，其接SMA头。本发明可以产生低温的、高电子浓度的和活性高的等离子体，并且本发明其易集成化、体积小、可便携；操作安全；易实现、价格较便宜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大气 压低 功率 脉冲 微波 等离子体 射流 发生器 | ||
【主权项】：
一种大气压低功率脉冲微波冷等离子体射流发生器，其特征在于，它由脉冲调制微波源、微波信号源、可调功率放大器、双定向耦合器、放电器组成，微波信号和脉冲调制信号通过同轴电缆与可调功率放大器连接，可调功率放大器通过同轴射频线与双定向耦合器连接，双定向耦合器通过同轴射频线与放电器连接，其中：放电器包含石英玻璃管，其玻璃管上包裹着一层铜膜，并且把玻璃管的一端封着，铜膜封口上均匀分布着直径为0.3mm的8个小孔，其配气系统所供的氩气通过小孔流入玻璃管中，玻璃管中间有一个离管口3mm的直径为1mm的钢针，离封口处有一个开口，其接SMA头。
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