[发明专利]一种大气压低功率脉冲微波冷等离子体射流发生器

权利要求书

1.一种大气压低功率脉冲微波冷等离子体射流发生器，其特征在于，它由脉冲调制微波源、微波信号源、可调功率放大器、双定向耦合器、放电器组成，微波信号和脉冲调制信号通过同轴电缆与可调功率放大器连接，可调功率放大器通过同轴射频线与双定向耦合器连接，双定向耦合器通过同轴射频线与放电器连接，其中：

放电器包含石英玻璃管，其玻璃管上包裹着一层铜膜，并且把玻璃管的一端封着，铜膜封口上均匀分布着直径为0.3mm的8个小孔，其配气系统所供的氩气通过小孔流入玻璃管中，玻璃管中间有一个离管口3mm的直径为1mm的钢针，离封口处有一个开口，其接SMA头。

2.根据权利要求1所述的一种大气压低功率脉冲微波冷等离子体射流发生器，其特征在于，所述的脉冲调制微波源是固态微波源。

3.根据权利要求1所述的一种大气压低功率脉冲微波冷等离子体射流发生器，其特征在于，所述的微波信号源工作频率为2.4～2.5GHz的可调标准频率，脉冲调制输出信号的频率为200Hz～100kHz、占空比在1：100％范围内可调，mW级的微波信号通过可调功率放大器放大成W级的脉冲微波功率。