[发明专利]一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法

摘要

本发明提供了一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法。该方法首先将工件以氧等离子体轰击工件表面，然后以工件为阳极，室温下在酸性电解液中进行电解退镀，电解电压以速率为0.5V/次～2V/次缓慢逐次增加，每次电压值上升后保持0～15min，然后观察工件表面类金刚石碳膜是否褪尽，若未褪尽，则继续增压，直至电压值上升至10V～20V；若褪尽，或者当电压值上升至10V～20V时，则将电压值在0～5s内迅速降回0V，然后取出工件、清洗后观察，若仍未褪尽则重复氧等离子体轰击与电解退镀过程。实验证实，该方法能够完全褪尽工件表面类金刚石碳膜，并且对工件不产生腐蚀以及破坏，具有良好的应用前景。

主权项

一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法，其特征是：包括如下步骤：步骤1、将工件置于真空反应器中，以氧等离子体进行表面轰击，使工件表面类金刚石膜改性并且疏松；步骤2、以工件为阳极在酸性溶液中进行电解退镀，在电解退镀过程中，进行如下步骤a：a、控制电压值上升，上升速率为0.5V/次～2V/次，电压值上升后保持30s～5min，然后观察工件表面类金刚石碳膜是否褪尽；如果未褪尽，则继续重复步骤a，直至电压值上升至10V～20V；如果褪尽，或者当电压值上升至10V～20V时，将电压值在0～5s内降回0V，然后取出工件；步骤3、将工件浸泡于碱性溶液中，中和去除工件表面残留的酸液，然后观察工件表面类金刚石碳膜是否褪尽，如果未褪尽，则继续步骤1、2与3；如果褪尽，则结束退镀。