[发明专利]一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法

权利要求书

1.一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法，其特征是：包括如下步骤：

步骤1、将工件置于真空反应器中，以氧等离子体进行表面轰击，使工件表面类金刚石膜改性并且疏松；

步骤2、以工件为阳极在酸性溶液中进行电解退镀，在电解退镀过程中，进行如下步骤a：

a、控制电压值上升，上升速率为0.5V/次～2V/次，电压值上升后保持30s～5min，然后观察工件表面类金刚石碳膜是否褪尽；

如果未褪尽，则继续重复步骤a，直至电压值上升至10V～20V；

如果褪尽，或者当电压值上升至10V～20V时，将电压值在0～5s内降回0V，然后取出工件；

步骤3、将工件浸泡于碱性溶液中，中和去除工件表面残留的酸液，然后观察工件表面类金刚石碳膜是否褪尽，

如果未褪尽，则继续步骤1、2与3；

如果褪尽，则结束退镀。

2.如权利要求1所述的完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法，其特征是：所述的工件材料是钢铁类材料。

3.如权利要求1所述的完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法，其特征是：所述的类金刚石碳膜是氢化类金刚石碳膜、不含氢的类金刚石碳膜或者金属掺杂类金刚石碳膜。

4.如权利要求1所述的完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法，其特征是：所述的类金刚石碳膜是包括过渡层的多层薄膜，其中过渡层是Cr、Ti、CrN、TiN、CrC、或者TiC。

5.如权利要求1所述的完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法，其特征是：所述的酸性溶液为硫酸、盐酸或者磷酸。

6.如权利要求1所述的完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法，其特征是：所述的酸性溶液的体积浓度为1%～10%。

7.如权利要求1所述的完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法，其特征是：所述的步骤a中，保持时间为30s～2min。