[发明专利]有机电致发光器件的制作方法及制作的有机电致发光器件

摘要

本发明提供一种有机电致发光器件的制作方法及制作的有机电致发光器件，所述方法包括步骤1、提供基板（20）；步骤2、在基板（20）上形成第一电极（21）；步骤3、在第一电极（21）与基板（20）上形成栅极绝缘层（22）；步骤4、在栅极绝缘层（22）上形成第二电极（23），该第二电极（23）包括第二金属层（224）及透明导电层（222）；步骤5、在第二电极（23）与栅极绝缘层（22）上形成氧化物半导体层（24）；步骤6、在氧化物半导体层（24）与第二电极（23）上形成有机平坦化层（25）；步骤7、以有机平坦化层（25）作为掩膜，蚀刻第二电极（23）的第二金属层（224），露出透明导电层（222），以形成透明电极（26）。

主权项

一种有机电致发光器件的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、提供基板(20)；步骤2、在基板(20)上形成第一金属层，并图案化该第一金属层，以形成第一电极(21)；步骤3、在第一电极(21)与基板(20)上形成栅极绝缘层(22)；步骤4、在栅极绝缘层(22)上依次形成透明导电层(222)与第二金属层(224)，并图案化该第二金属层(224)与透明导电层(222)，以形成第二电极(23)，该第二电极(23)包括第二金属层(224)及位于第二金属层(224)下方的透明导电层(222)；步骤5、在第二电极(23)与栅极绝缘层(22)上形成氧化物半导体层(24)，图案化该氧化物半导体层(24)；步骤6、在氧化物半导体层(24)与第二电极(23)上形成有机平坦化层(25)，并图案化该有机平坦化层(25)；步骤7、以有机平坦化层(25)作为掩膜，蚀刻第二电极(23)的第二金属层(224)，露出透明导电层(222)，以形成透明电极(26)；还包括：步骤8、在有机平坦化层(25)上形成间隔层；步骤9、在透明电极(26)上蒸镀有机功能层与阴极；步骤10、提供封装盖板，并进行封装；所述有机功能层包括形成于透明电极(26)上的空穴传输层、形成于空穴传输层上的有机发光层、及形成于有机发光层上的电子传输层；所述第一金属层与第二金属层(224)包含铝或钼中至少一种；所述透明导电层(222)包含氧化铟锡或银中至少一种；所述基板(20)与封装盖板均为玻璃基板。